Escolha o sistema de gravação de plasma ICP da Semicorex para processo PSS para processos de epitaxia e MOCVD de alta qualidade. Nosso produto é projetado especificamente para esses processos, oferecendo resistência superior ao calor e à corrosão. Com uma superfície limpa e lisa, nosso transportador é perfeito para manusear wafers imaculados.
O sistema de gravação por plasma ICP da Semicorex para processo PSS oferece excelente resistência ao calor e à corrosão para manuseio de wafers e processos de deposição de filmes finos. Nosso fino revestimento de cristal SiC oferece uma superfície limpa e lisa, garantindo o manuseio ideal de wafers imaculados.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso sistema de gravação por plasma ICP para processo PSS tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de qualidade consistente e atendimento ao cliente excepcional.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nosso Sistema de Gravura Plasma ICP para Processo PSS.
Parâmetros do Sistema de Gravura Plasma ICP para Processo PSS
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Principais especificações do revestimento CVD-SIC |
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Propriedades SiC-CVD |
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Estrutura Cristalina |
Fase β do FCC |
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Densidade |
g/cm³ |
3.21 |
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Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
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Tamanho do grão |
μm |
2~10 |
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Pureza Química |
% |
99.99995 |
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Capacidade de calor |
J kg-1 K-1 |
640 |
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Temperatura de Sublimação |
℃ |
2700 |
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Força Felexural |
MPa (TR 4 pontos) |
415 |
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Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) |
430 |
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Expansão Térmica (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
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Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Recursos do sistema de gravação de plasma ICP para processo PSS
-Evite descascar e garanta o revestimento em toda a superfície
Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C
Alta pureza: feita por deposição química de vapor CVD sob condições de cloração de alta temperatura.
Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.
Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar
- Garantir uniformidade do perfil térmico
- Evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas





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