Susceptores de wafer SiC para MOCVD

Os susceptores Semicorex SiC Wafer para MOCVD são um modelo de precisão e inovação, criados especificamente para facilitar a deposição epitaxial de materiais semicondutores em wafers. As propriedades superiores dos materiais das placas permitem-lhes resistir às condições rigorosas de crescimento epitaxial, incluindo altas temperaturas e ambientes corrosivos, tornando-as indispensáveis para a fabricação de semicondutores de alta precisão. Nós da Semicorex nos dedicamos à fabricação e fornecimento de susceptores de wafer SiC de alto desempenho para MOCVD que combinam qualidade com economia.

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Descrição do produto

A combinação de estabilidade térmica, resistência química e robustez mecânica garante que os susceptores Semicorex SiC Wafer para MOCVD tenham uma longa vida operacional, mesmo sob condições adversas de processamento:

1. Esses susceptores de wafer de SiC para MOCVD são projetados para suportar temperaturas extremamente altas, geralmente excedendo 1.500°C, sem degradação. Essa resiliência é crucial para processos que exigem exposição prolongada a ambientes térmicos elevados. As propriedades térmicas superiores minimizam gradientes térmicos e tensões dentro do susceptor, reduzindo assim o risco de empenamento ou deformação sob temperaturas extremas de processamento.

2. O revestimento de SiC dos susceptores de wafer de SiC para MOCVD oferece resistência excepcional a produtos químicos corrosivos usados em processos de CVD, como gases à base de halogênio. Esta inércia garante que os transportadores não reajam com os gases do processo, mantendo assim a integridade e a pureza dos filmes depositados.

3. A construção robusta desses susceptores de wafer de SiC para MOCVD garante que eles possam suportar as tensões mecânicas de manuseio e processamento sem gerar partículas que possam contaminar o wafer. A uniformidade da superfície dos susceptores promove condições de processamento reproduzíveis, essenciais para a produção de dispositivos semicondutores com desempenho e confiabilidade consistentes.

Essas descrições expandidas destacam as vantagens profissionais e técnicas dos susceptores de wafer de SiC para MOCVD em processos CVD de semicondutores, enfatizando suas propriedades e benefícios exclusivos na manutenção de altos padrões de pureza, desempenho e eficiência no processo de fabricação.