Porta-placas revestidas com SiC para MOCVD

Os transportadores de placas revestidas com SiC da Semicorex para MOCVD são transportadores de alta qualidade projetados para uso no processo de fabricação de semicondutores. Sua alta pureza, excelente resistência à corrosão e até perfil térmico o tornam uma excelente escolha para quem procura um suporte que possa suportar as demandas do processo de fabricação de semicondutores.

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Descrição do produto

Nossos suportes de placas revestidos com SiC para MOCVD apresentam alta pureza, tornando-os uma excelente escolha para quem procura um suporte altamente uniforme e consistente em suas propriedades.
Nossos porta-placas revestidos com SiC para MOCVD feitos com um revestimento de carboneto de silício de alta pureza em grafite, o que o torna altamente resistente à oxidação em altas temperaturas de até 1600°C. O processo de deposição de vapor químico CVD usado em sua fabricação garante alta pureza e excelente resistência à corrosão. É altamente resistente à corrosão, com superfície densa e partículas finas, tornando-o resistente a ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos. Sua resistência à oxidação em altas temperaturas garante estabilidade em altas temperaturas de até 1600°C.

Parâmetros de suportes de placas revestidas com SiC para MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades do SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD

- Evite descascar e assegure o revestimento em toda a superfície
Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C
Alta pureza: feito por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura.
Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.
Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar
- Garantir a uniformidade do perfil térmico
- Prevenir qualquer contaminação ou difusão de impurezas