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Susceptor de barril revestido de SiC para wafer epitaxial

Susceptor de barril revestido de SiC para wafer epitaxial

O Susceptor de Barril Revestido com SiC Semicorex para Wafer Epitaxial é a escolha perfeita para aplicações de crescimento de cristal único, graças à sua superfície excepcionalmente plana e revestimento de SiC de alta qualidade. Seu alto ponto de fusão, resistência à oxidação e resistência à corrosão o tornam a escolha ideal para uso em ambientes corrosivos e de alta temperatura.

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Descrição do produto

Procurando um susceptor de grafite com distribuição de calor e condutividade térmica excepcionais? Não procure mais, o Susceptor de Barril Revestido de SiC Semicorex para Wafer Epitaxial, revestido com SiC de alta pureza para desempenho superior em processos epitaxiais e outras aplicações de fabricação de semicondutores.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso Susceptor de Barril Revestido de SiC para Wafer Epitaxial tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de qualidade consistente e atendimento ao cliente excepcional.


Parâmetros do Susceptor de Barril Revestido de SiC para Wafer Epitaxial

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura Cristalina

Fase β do FCC

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho do grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J kg-1 K-1

640

Temperatura de sublimação

2700

Força Felexural

MPa (TR 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)

430

Expansão Térmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Características do Susceptor de Barril Revestido de SiC para Wafer Epitaxial

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel protetor em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhorando efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em altas temperaturas, resistência à corrosão.




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