Susceptor de barril revestido com SiC

Com seu alto ponto de fusão, resistência à oxidação e resistência à corrosão, o Susceptor de Barril Revestido com SiC Semicorex é a escolha perfeita para uso em aplicações de crescimento de cristal único. Seu revestimento de carboneto de silício oferece propriedades excepcionais de planicidade e distribuição de calor, garantindo desempenho confiável e consistente mesmo nos ambientes mais exigentes de alta temperatura.

Enviar consulta

Descrição do produto

O Susceptor de Barril Revestido com SiC Semicorex é um produto de grafite de alta qualidade revestido com SiC de alta pureza, projetado especificamente para processos LPE e outras aplicações de fabricação de semicondutores. Sua excepcional densidade e condutividade térmica proporcionam distribuição de calor superior e proteção em ambientes corrosivos e de alta temperatura.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer Susceptor de Barril Revestido com SiC de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros do Susceptor de Barril Revestido com SiC

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do Susceptor de Barril Revestido com SiC

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel protetor em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhorando efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em altas temperaturas, resistência à corrosão.