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Susceptor de barril revestido de SiC para crescimento epitaxial

Susceptor de barril revestido de SiC para crescimento epitaxial

Com sua densidade e condutividade térmica superiores, o Susceptor de Barril Revestido de SiC Semicorex para Crescimento Epitaxial é a escolha ideal para uso em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Revestido com SiC de alta pureza, este produto de grafite oferece excelente proteção e distribuição de calor, garantindo desempenho confiável e consistente em aplicações de fabricação de semicondutores.

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Descrição do produto

O Susceptor de Barril Revestido de SiC Semicorex para Crescimento Epitaxial é a escolha perfeita para a formação de camada epixial em wafers semicondutores, graças à sua excelente condutividade térmica e propriedades de distribuição de calor. Seu revestimento de carboneto de silício oferece proteção superior até mesmo nos ambientes corrosivos e de alta temperatura mais exigentes.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso Susceptor de Barril Revestido com SiC para Crescimento Epitaxial tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de qualidade consistente e atendimento ao cliente excepcional.


Parâmetros do Susceptor de Barril Revestido de SiC para Crescimento Epitaxial

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura Cristalina

Fase β do FCC

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho do grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J kg-1 K-1

640

Temperatura de Sublimação

2700

Força Felexural

MPa (TR 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)

430

Expansão Térmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Características do Susceptor de Barril Revestido com SiC para Crescimento Epitaxial

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel protetor em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhorando efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em altas temperaturas, resistência à corrosão.




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