Disco Planetário

Disco Planetário, um revolucionário transportador e susceptor de wafer projetado para processos de Epitaxia de Feixe Molecular (MBE) em fornos de Deposição de Vapor Químico Metal-Orgânico (MOCVD). Fabricado com materiais de alta qualidade, o disco planetário foi projetado para elevar a fabricação de semicondutores a novos patamares.

O disco planetário é meticulosamente fabricado em grafite revestido com CVD SiC, garantindo excepcional estabilidade térmica, alta pureza e resistência a temperaturas extremas. Esta composição avançada de material garante desempenho superior e longevidade em ambientes MOCVD exigentes.

O revestimento CVD SiC no substrato de grafite aumenta a condutividade térmica, promovendo uma transferência de calor eficiente durante o processo MOCVD. Esse recurso não apenas garante perfis de temperatura consistentes em todo o wafer, mas também contribui para reduzir o estresse térmico e melhorar o rendimento geral.

O disco planetário é customizado e é compatível com uma ampla variedade de tamanhos de wafer semicondutor, tornando-o uma solução versátil para diversos requisitos de produção. Construído para suportar as rigorosas demandas dos fornos MOCVD, o Disco Planetário apresenta durabilidade e confiabilidade excepcionais. Sua construção robusta garante desempenho duradouro, reduzindo o tempo de inatividade e os custos de manutenção associados aos transportadores e susceptores de wafer.