Portadores de wafer MOCVD para a indústria de semicondutores

Semicorex MOCVD Wafer Carriers para a indústria de semicondutores é um transportador top de linha projetado para uso na indústria de semicondutores. Seu material de alta pureza garante perfil térmico uniforme e padrão de fluxo de gás laminar, fornecendo wafers de alta qualidade.

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Descrição do produto

Nossos transportadores de wafer MOCVD para a indústria de semicondutores são altamente puros, feitos por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura, garantindo uniformidade e consistência do produto. Também é altamente resistente à corrosão, com superfície densa e partículas finas, tornando-o resistente a ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos. Sua resistência à oxidação em altas temperaturas garante estabilidade em altas temperaturas de até 1600°C.
Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nossos MOCVD Wafer Carriers para a indústria de semicondutores.

Parâmetros de MOCVD Wafer Carriers para Indústria de Semicondutores

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD

- Evite descascar e assegure o revestimento em toda a superfície
Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C
Alta pureza: feito por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura.
Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.
Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar
- Garantir a uniformidade do perfil térmico
- Prevenir qualquer contaminação ou difusão de impurezas