Sistema Epi Barril Aquecido Indutivamente para Epitaxia LPE

O sistema Epi de barril aquecido indutivamente Semicorex para LPE Epitaxy é a escolha perfeita para aplicações de fabricação de semicondutores que exigem distribuição de calor e condutividade térmica excepcionais. Seu revestimento de SiC de alta pureza e densidade superior fornecem proteção superior e propriedades de distribuição de calor, garantindo desempenho confiável e consistente mesmo nos ambientes mais desafiadores.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso Sistema Epi de barril aquecido indutivamente para LPE Epitaxy tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de qualidade consistente e atendimento excepcional ao cliente.

Parâmetros do Sistema Epi de Barril Aquecido Indutivamente para Epitaxia LPE

Características do Sistema Epi Barrel Aquecido Indutivamente para Epitaxia LPE

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel de proteção em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- Susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhore efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em alta temperatura, resistência à corrosão.