Placa transportadora de gravação ICP

A placa transportadora de gravação ICP da Semicorex é a solução perfeita para processos exigentes de manuseio de wafer e deposição de filmes finos. Nosso produto oferece resistência superior ao calor e à corrosão, uniformidade térmica e padrões de fluxo de gás laminar. Com uma superfície limpa e lisa, nosso transportador é perfeito para manusear wafers imaculados.

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Descrição do produto

A placa transportadora de gravação ICP da Semicorex oferece excelente durabilidade e longevidade para manuseio de wafers e processos de deposição de filmes finos. Nosso produto possui resistência superior ao calor e à corrosão, uniformidade térmica e padrões de fluxo de gás laminar. Com uma superfície limpa e lisa, nosso transportador garante o manuseio ideal de wafers imaculados. Retira alta temperatura, limpeza química, além de alta uniformidade térmica.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nossa placa transportadora de gravação ICP.

Parâmetros da placa transportadora de gravação ICP

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300