Placa de transporte de gravação ICP

A placa portadora de gravação ICP da Semicorex oferece excelente durabilidade e longevidade para manuseio de wafer e processos de deposição de filmes finos. Nosso produto possui resistência superior ao calor e à corrosão, uniformidade térmica uniforme e padrões de fluxo de gás laminar. Com uma superfície limpa e lisa, nosso transportador garante o manuseio ideal de wafers imaculados. Retira alta temperatura, limpeza química, bem como alta uniformidade térmica.
Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nossa placa de transporte de gravura ICP.

Parâmetros da placa transportadora de gravação ICP

Características da placa transportadora de gravação ICP

- Evite descascar e assegure o revestimento em toda a superfície

Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C

Alta pureza: feito por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura.

Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.

Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.

- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar

- Garantir a uniformidade do perfil térmico

- Prevenir qualquer contaminação ou difusão de impurezas