Bandeja de grafite revestida com SiC

A bandeja de grafite revestida com SiC é uma peça semicondutora de última geração que fornece aos substratos de Si controle preciso de temperatura e suporte estável durante o processo de crescimento epitaxial do silício. A Semicorex sempre dá prioridade à demanda dos clientes, fornecendo aos clientes soluções de componentes essenciais necessárias para a produção de semicondutores de alta qualidade.

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Descrição do produto

Como componente principal do equipamento epitaxial, oBandeja de grafite revestida com SiC, afeta diretamente a eficiência da produção, uniformidade e taxa de defeitos do crescimento da camada epitaxial.

Através da purificação de grafite, processamento de precisão e tratamento de limpeza, a superfície do substrato de grafite pode atingir excelente planicidade e suavidade, evitando com sucesso o risco de contaminação por partículas. Através da deposição química de vapor, a superfície do substrato de grafite sofre uma reação química com o gás reativo, gerando um revestimento denso, sem poros e de espessura uniforme de carboneto de silício (SiC). Da preparação do substrato ao tratamento do revestimento, todo o processo de produção é realizado em uma sala limpa Classe 100, que atende aos padrões de limpeza adequados para semicondutores.

A bandeja de grafite revestida com SiC, feita de grafite de alta pureza e baixa impureza e materiais de SiC, possui excelente condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica. Ele não apenas permite que a bandeja de grafite revestida com SiC transfira calor de forma rápida e uniforme para melhorar a qualidade de crescimento da camada epitaxial, mas também reduz efetivamente o risco de derramamento ou rachadura do revestimento devido ao estresse térmico. Além disso, o revestimento uniforme e denso de SiC é resistente a altas temperaturas, oxidação e corrosão, garantindo uma operação estável por um longo tempo sob condições de alta temperatura e gases corrosivos.

A bandeja de grafite revestida com SiC tem maior compatibilidade com equipamentos de deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD). Foi meticulosamente dimensionado e projetado para se adaptar a diferentes parâmetros de processo e requisitos de equipamento. A Semicorex sempre insiste em oferecer serviços profissionais personalizados aos nossos valiosos clientes para atender com precisão às suas necessidades de diferentes tamanhos, espessuras de revestimento e rugosidade superficial da bandeja de grafite revestida com SiC.