Suporte para wafer

O suporte para wafer Semicorex é engenhosamente projetado com um núcleo feito de grafite de alta pureza e meticulosamente revestido com carboneto de silício (SiC) para atender aos exigentes requisitos dos equipamentos de epitaxia em fase líquida (LPE). Sua construção e seleção de materiais são absolutamente cruciais para manter a integridade dos wafers durante os processos de alta temperatura inerentes à fabricação de semicondutores.

O suporte para wafer de grafite revestido com SiC demonstra excelente resistência ao desgaste, uma característica vital para manter as dimensões precisas e a qualidade da superfície necessárias para o manuseio ideal do wafer. Nos processos LPE, a integridade da superfície do suporte do wafer é fundamental, pois qualquer degradação ou irregularidade pode resultar em defeitos no wafer, levando a rendimentos mais baixos e maior desperdício. O revestimento SiC garante que o suporte para wafer mantenha uma superfície lisa e estável durante ciclos repetidos, contribuindo para a confiabilidade e consistência geral do processo de epitaxia.

Além disso, o revestimento SiC melhora o desempenho térmico do suporte para wafer. A alta condutividade térmica do carboneto de silício garante uma distribuição uniforme de calor através do wafer durante o processo de epitaxia, crucial para evitar gradientes térmicos que poderiam causar empenamento ou rachaduras nos wafers. Isto garante que os produtos finais atendam aos rigorosos padrões de qualidade exigidos na fabricação de semicondutores. A combinação das propriedades térmicas inerentes do grafite com os benefícios adicionais do revestimento SiC cria um suporte de wafer capaz de suportar os ambientes térmicos mais desafiadores.

O design do Wafer Holder é otimizado para sua aplicação em equipamentos LPE. O suporte do wafer é usinado com precisão para acomodar os wafers com segurança, minimizando o risco de movimento ou desalinhamento durante o processo de epitaxia. Esta precisão é crucial, pois mesmo a menor mudança na posição do wafer pode levar a uma deposição irregular, afetando o desempenho dos dispositivos semicondutores que estão sendo fabricados. O suporte para wafer de grafite revestido com SiC proporciona a estabilidade necessária, garantindo que os wafers permaneçam na posição correta durante todo o processo.

                                                        Estrutura LEP, de LPE