Susceptor de grafite com revestimento de SiC

O susceptor de grafite Semicorex com revestimento de SiC é um componente essencial projetado para processos de epitaxia de silício em unidades de materiais aplicados e LPE (epitaxia de fase líquida). Fabricado com material de grafite de alta qualidade revestido com carboneto de silício (SiC), este susceptor garante desempenho superior e longevidade em ambientes de fabricação de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O revestimento de SiC no susceptor de grafite com revestimento de SiC serve a vários propósitos. Em primeiro lugar, proporciona maior estabilidade térmica, permitindo um controle preciso sobre os gradientes de temperatura durante os processos de crescimento epitaxial. Esta estabilidade é crucial para obter camadas de silício uniformes e de alta qualidade em wafers semicondutores. O revestimento SiC no susceptor de grafite com revestimento de SiC oferece excelente resistência à corrosão química e ao choque térmico, salvaguardando a integridade do susceptor mesmo sob condições de processo exigentes. Essa durabilidade se traduz em maior vida útil operacional e redução do tempo de inatividade, contribuindo, em última análise, para maior produtividade e economia para instalações de fabricação de semicondutores.

O design do barril do susceptor de grafite com revestimento de SiC facilita o carregamento e descarregamento eficiente de wafers, otimizando o rendimento em processos de epitaxia. Além disso, o Susceptor de Grafite com Revestimento SiC é um produto customizado e pode ser adaptado para atender requisitos e preferências específicas dos fabricantes de semicondutores, garantindo compatibilidade com diferentes configurações de equipamentos e parâmetros de processo.