Bandeja transportadora de gravação PSS para LED

A bandeja transportadora de gravação PSS da Semicorex para LED foi projetada para ambientes agressivos necessários para crescimento epitaxial e processos de manuseio de wafer. Nosso transportador de grafite ultrapuro foi projetado para suportar wafers durante as fases de deposição de filmes finos, como MOCVD e susceptores de epitaxia, panqueca ou plataformas de satélite. O suporte revestido de SiC possui alta resistência ao calor e à corrosão, excelentes propriedades de distribuição de calor e alta condutividade térmica. Nossos produtos são econômicos e têm uma boa vantagem de preço. Atendemos muitos mercados europeus e americanos e esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Contate-nos hoje para saber mais sobre nossa bandeja transportadora de gravação PSS para LED.

Parâmetros da bandeja transportadora de gravação PSS para LED

Características da bandeja transportadora de gravação PSS para LED

-Evite descascar e garanta o revestimento em toda a superfície

Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C

Alta pureza: feita por deposição química de vapor CVD sob condições de cloração de alta temperatura.

Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.

Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar

- Garantir uniformidade do perfil térmico

- Evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas