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Bandeja transportadora de gravação PSS para LED

Bandeja transportadora de gravação PSS para LED

Na Semicorex, projetamos a Bandeja transportadora de gravura PSS para LED especificamente para os ambientes hostis necessários para o crescimento epitaxial e processos de manuseio de wafer. Nosso transportador de grafite ultrapuro é ideal para fases de deposição de filmes finos como MOCVD, susceptores de epitaxia, plataformas de panqueca ou satélite e processamento de manuseio de wafer, como corrosão. O suporte revestido de SiC tem alta resistência ao calor e à corrosão, excelentes propriedades de distribuição de calor e alta condutividade térmica. Nossa bandeja de suporte de gravação PSS para LED é econômica e oferece uma boa vantagem de preço. Atendemos muitos mercados europeus e americanos e esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

A Bandeja transportadora de gravura PSS da Semicorex para LED foi projetada para ambientes agressivos necessários para crescimento epitaxial e processos de manuseio de wafer. Nosso transportador de grafite ultrapuro foi projetado para suportar wafers durante as fases de deposição de filmes finos, como MOCVD e susceptores de epitaxia, panquecas ou plataformas de satélite. O suporte revestido de SiC tem alta resistência ao calor e à corrosão, excelentes propriedades de distribuição de calor e alta condutividade térmica. Nossos produtos são econômicos e têm uma boa vantagem de preço. Atendemos muitos mercados europeus e americanos e esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nossa Bandeja transportadora de gravura PSS para LED.


Parâmetros da bandeja transportadora de gravação PSS para LED

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura de cristal

FCC fase β

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho de grão

¼m

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura de Sublimação

2700

Força Felexural

MPa (RT 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (dobra de 4pt, 1300â)

430

Expansão Térmica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Características da bandeja transportadora de gravação PSS para LED

- Evite descascar e assegure o revestimento em toda a superfície

Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C

Alta pureza: feito por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura.

Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.

Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.

- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar

- Garantir a uniformidade do perfil térmico

- Prevenir qualquer contaminação ou difusão de impurezas





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