Bandeja transportadora de wafer

A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semifabricação OEM e componentes de manuseio de wafers com foco em camadas de carboneto de silício em indústrias de semicondutores. Somos fabricantes e fornecedores de bandejas transportadoras de wafer há muitos anos. Nossa bandeja transportadora de wafer tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Não apenas para fases de deposição de filmes finos, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafers, a Semicorex fornece suporte cerâmico ultrapuro usado para suportar wafers. No centro do processo, a bandeja transportadora de wafer para o MOCVD é primeiro submetida ao ambiente de deposição, por isso possui alta resistência ao calor e à corrosão. O suporte revestido de SiC também possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nossa bandeja transportadora de wafer.

Parâmetros da bandeja transportadora de wafer

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a Tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC

Características da bandeja transportadora de wafer

- Revestimentos de carboneto de silício CVD para melhorar a vida útil.
- Isolamento térmico em carbono rígido purificado de alto desempenho.
- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
- Revestimento de grafite e SiC de alta pureza para resistência a furos e maior vida útil

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silício:

● Haste de cerâmica/pino de cerâmica/êmbolo de cerâmica

● Tubo cerâmico/bucha cerâmica/luva cerâmica

● Anel cerâmico/arruela cerâmica/espaçador cerâmico

● Disco cerâmico

● Placa cerâmica/bloco cerâmico

● Bola de cerâmica

● Pistão cerâmico

● Bocal cerâmico

● Cadinho cerâmico

● Outras peças cerâmicas personalizadas