Barcos de bolacha

Os barcos semicorex de wafer fabricados a partir de carboneto de silício de alta pureza (SIC) são componentes essenciais na fabricação de semicondutores. Os processos semicondutores nos quais são usados geralmente incluem ambientes de alta temperatura e corrosivos, como difusão, oxidação e processos de LPCVD. A aplicação de barcos de wafer SiC foi projetada para maximizar a estabilidade térmica e a resistência química, permitindo suporte ideal, alinhamento e transporte de bolachas de silício durante o processamento para rendimentos ideais e desempenho do dispositivo.

O carboneto de silício é bem documentado como uma excelente cerâmica termicamente condutora, exibindo alta resistência mecânica e resistência ao choque térmico superior, resistência a oxidação e resistência química agressiva com produtos químicos como HF e HCl. As propriedades do SiC tornam-a especialmente atraente como material para barcos de wafer para processos de fabricação de semicondutores de próxima geração e em ambientes de alta temperatura. Os barcos de wafer SiC podem manter a integridade estrutural e a estabilidade dimensional em temperaturas do processo> 1500 ° C, minimizando o risco de deformação ou contaminação das bolachas em tratamentos térmicos críticos.

Cada sicbarco de bolachaé fabricado a partir de SIC de alta pureza usando processos avançados de formação e sinterização de cerâmica e pode ser adaptado para uma extensa gama de diâmetros de wafer (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), além de empilhar configurações verticais ou horizontais. Nossos barcos de wafer SiC têm superfícies suaves e excelente planicidade que minimizam a geração de partículas e são ideais para sistemas automatizados de manuseio de bolacha.

O controle e o rendimento de contaminação são dois dos problemas mais críticos nos fabricantes modernos. A limpeza e confiabilidade das transportadoras de wafer da SIC influenciam a qualidade do produto e o desempenho do processo de consistência.  Os barcos de wafer sic têm muito melhor longevidade para uso, têm menos requisitos de manutenção e menor TCO do que alternativas baseadas em quartzo ou alumina. Melhor longevidade também significa menos problemas com o derramamento de micropartículas; portanto, impactando a limpeza da superfície da bolacha e impactando a limpeza da sala limpa.

A Semicorex está focada em projetar e fabricar barcos de wafer SiC que usam as matérias -primas de pureza mais alta possível, combinadas com a atmosfera de baixa contaminação.  Fazemos todos os esforços para manter baixos níveis de impureza, manter a porosidade a baixo valor e a microestrutura uniforme, para que o trabalho da equipe possa desfrutar regularmente de características térmicas consistentes, espaçamento preciso da bolacha e resistência de degradação química incomparável.

Semicorex sicbarcos de bolachasão um elemento necessário do processamento de alta temperatura dos semicondutores. Os barcos de wafer de alta pureza de silício têm características de material incomparável, excelência projetada e temperamento livre de micro-contaminação, tornam-os a escolha de alto nível para a fabricação de wafer de alto desempenho. O Semicorex fornece a confiabilidade e o alto desempenho inovador para apoiar seus processos de semicondutores mais críticos da missão.