Barco de wafer

O Semicorex Wafer Boat foi projetado para suportar as condições adversas do forno de difusão, como altas temperaturas, ambientes corrosivos e a necessidade de posicionamento preciso do wafer durante o processo de difusão.

O Wafer Boat é feito de cerâmica de carboneto de silício, escolhida por suas propriedades excepcionais. O carboneto de silício é conhecido por sua alta condutividade térmica, garantindo distribuição uniforme de temperatura entre os wafers durante a difusão. Essa uniformidade é crucial para manter a integridade dos wafers e garantir níveis consistentes de dopagem, essenciais para a funcionalidade dos dispositivos semicondutores fabricados. Além disso, o alto ponto de fusão e a estabilidade térmica do carboneto de silício permitem que o Wafer Boat opere nas temperaturas elevadas exigidas nos processos de difusão, muitas vezes excedendo 1000°C, sem degradação ou distorção.

Uma das principais vantagens da cerâmica de carboneto de silício no Wafer Boat é sua excelente resistência química. Esta resistência é particularmente importante na manutenção da pureza dos wafers semicondutores, pois qualquer contaminação pode levar a defeitos no produto final, comprometendo o desempenho dos circuitos integrados.

A integridade estrutural do Wafer Boat é outro fator crítico em seu projeto. O projeto deve garantir que os wafers sejam mantidos com segurança no lugar, com espaçamento preciso para permitir uma exposição uniforme aos gases reativos. Esta precisão é vital para alcançar dopagem uniforme em todos os wafers, o que impacta diretamente nas características elétricas dos dispositivos semicondutores.

Além de suas propriedades térmicas e químicas, a cerâmica de carboneto de silício oferece excelente estabilidade dimensional, crucial para os requisitos de alta precisão da fabricação de semicondutores. Essa estabilidade garante que os wafers permaneçam perfeitamente alinhados, permitindo uma difusão precisa e uniforme de dopantes em toda a superfície de cada wafer, levando à produção de dispositivos semicondutores de alta qualidade.

Semicorex Wafer Boat feito de cerâmica de carboneto de silício é um componente essencial no processo de difusão de semicondutores. Sua excepcional condutividade térmica, resistência química, resistência mecânica e estabilidade dimensional o tornam ideal para as exigentes condições de fabricação de semicondutores. Seu uso não apenas aumenta a eficiência e a confiabilidade do processo de difusão, mas também contribui para a relação custo-benefício geral da fabricação de semicondutores.