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Barco Wafer para Processo de Semicondutores

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/colunas e horizontais. Somos fabricantes e fornecedores de filme de revestimento de carboneto de silício há muitos anos. Nosso Barco Wafer para Processo de Semicondutores tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Semicorex SiC Wafer Boat para processo de semicondutores, a solução definitiva para manuseio e proteção de wafer na fabricação de semicondutores. Nosso barco wafer para processo de semicondutores é feito de carboneto de silício de alta qualidade, que possui boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. A cerâmica avançada oferece excelente resistência térmica e durabilidade do plasma, ao mesmo tempo que atenua partículas e contaminantes para transportadores de wafer de alta capacidade.

Parâmetros do barco wafer para processo de semicondutores

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

Características do barco wafer para processo de semicondutores

Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.