Vacuum chucks

Os mandatos de vácuo semicorex são soluções de engenharia de precisão projetadas para fornecer manuseio seguro, estável e eficiente de bolachas nos processos de fabricação de semicondutores. Esses chucks de vácuo são usados ​​principalmente para manter as bolachas durante vários estágios de processamento, garantindo danos mínimos às bolachas, estabilidade máxima e maior eficiência do processo. Nossos chucks a vácuo estão disponíveis em uma variedade de materiais base e placas de cerâmica, oferecendo soluções personalizadas para atender às diversas necessidades da indústria de semicondutores e de outras indústrias de precisão.

Principais recursos e materiais

O Semicorex oferece uma variedade de opções de material base para o chuck de vácuo, permitindo a personalização com base em requisitos específicos de aplicativos:

Materiais Base:

• SUS430: Um material de base de aço inoxidável conhecido por sua resistência à resistência e corrosão, proporcionando excelente estabilidade mecânica.
• Liga de alumínio 6061: leve, mas forte, esta base de alumínio oferece alta resistência à corrosão e é ideal para aplicações onde o peso é uma preocupação.
• Cerâmica de alumina (alumina de 99%): oferece alta estabilidade térmica e resistência ao desgaste. É uma excelente opção para ambientes de alta precisão, onde a resistência térmica é crítica.
• Granito: conhecido por sua rigidez e propriedades superiores de amortecimento de vibrações, o granito oferece excelente estabilidade e precisão durante o manuseio de bolas.
• Cerâmica de carboneto de silício (SIC): oferece alta dureza, condutividade térmica e resistência à corrosão química. É perfeito para ambientes de alta temperatura e agressivos.

Placas de cerâmica:

Alumina (Al₂o₃): As placas de alumina são conhecidas por suas altas propriedades de isolamento elétrico, resistência ao desgaste e estabilidade de alta temperatura. Eles são adequados para ambientes onde a contaminação mínima e o alto desempenho são cruciais.

Carboneto de silício (SIC): As placas de cerâmica SiC fornecem dureza excepcional, alta condutividade térmica e estabilidade a temperaturas elevadas, tornando -as ideais para processos avançados de manuseio de bolacha na produção de semicondutores.

Precisão de nivelamento e seleção de material

A planicidade da superfície do Chuck é um fator crítico para garantir o manuseio adequado da bolacha e os resultados ideais do processo. A escolha do material afeta a precisão da planicidade, bem como o peso geral e as propriedades térmicas do chuck de vácuo.

Precisão de planicidade:

Liga de alumínio 6061: fornece excelente planicidade com precisão, tornando -a uma escolha popular para tarefas de manuseio de bolacha menos exigentes.

SUS430: Ao oferecer estabilidade mecânica sólida, o SUS430 possui uma precisão de planicidade ligeiramente mais baixa que a liga de alumínio.

Cerâmica de alumina (alumina de 99%): oferece a melhor precisão de nivelamento devido à sua alta estabilidade dimensional sob altas temperaturas e estresse mecânico.

Granito: Conhecido por sua estabilidade, o granito fornece nivelamento preciso, particularmente em ambientes sensíveis à vibração.

Cerâmica de carboneto de silício: fornece precisão excepcional de planicidade e é ideal para manuseio de bolas de alta precisão em aplicações de alta temperatura.

Considerações de peso

O peso do chuck a vácuo é outro fator importante, principalmente para aplicações em que a facilidade de manuseio e manipulação do Chuck é uma consideração essencial.