Barco de wafer SiSiC

No cenário competitivo da fabricação de semicondutores e células solares, é essencial equilibrar o rendimento com a longevidade dos componentes. NossoSiSiC Os Wafer Boat são projetados para serem o "cavalo de batalha industrial" para operações de fornos de alta temperatura. Ao utilizar o processo de ligação por reação, fornecemos um suporte que oferece resistência mecânica e resistência ao choque térmico superiores em comparação com o quartzo tradicional e a cerâmica padrão.

A ciência do SiSiC: por que a ligação de reação é importante

Ao contrário do SiC sinterizado, que é formado através da consolidação de pó de alta pressão,Barco de wafer SiSiC é produzido infiltrando uma pré-forma de carbono porosa com silício fundido. Este processo de "Reaction Bonding" resulta em um material com encolhimento quase zero durante a fabricação, permitindo a produção de arquiteturas de barcos complexas e em grande escala com incrível precisão dimensional.

1. Resistência superior ao choque térmico

Um dos desafios mais críticos no processamento em lote é o rápido ciclo “push-pull” do forno. Os portadores de quartzo freqüentemente quebram sob estresse térmico. SiSiC possui um módulo de ruptura (MOR) significativamente maior e excelente condutividade térmica. Isto permite que os nossos barcos suportem rápidas subidas de temperatura sem o risco de falha estrutural, traduzindo-se diretamente em menos tempo de inatividade do equipamento.

2. Alta capacidade de carga em temperatura

À medida que o tamanho dos wafers aumenta e os lotes ficam maiores para maximizar o rendimento, o peso no transportador aumenta. Nossos barcos SiSiC apresentam excepcional resistência à fluência. Enquanto outros materiais podem ceder ou deformar sob cargas pesadas a 1.250°C, o SiSiC mantém sua geometria, garantindo que o paralelismo do slot do wafer permaneça perfeito ao longo de milhares de ciclos.

3. Inércia Química e Integridade da Superfície

Nossos barcos SiSiC são projetados para ambientes químicos agressivos. O material é inerentemente resistente aos gases corrosivos utilizados nos processos LPCVD e Difusão. Além disso, a superfície é tratada para garantir que não haja migração de “silício livre”, proporcionando um ambiente estável e limpo que protege a integridade elétrica dos seus wafers.

Especificações Técnicas: Matriz de Desempenho SiSiC

Otimizado para padrões globais de fabricação

Nosso SiSiC Wafer Boat é compatível com os principais OEMs de fornos do mundo, incluindo TEL (Tokyo Electron), ASM e Kokusai Electric. Fornecemos soluções personalizadas para:

Fornos de Difusão Horizontal: Barcos de longo comprimento com ranhuras de alta precisão para wafers de 150 mm e 200 mm.

Sistemas de Fornos Verticais: Projetos de baixa massa que otimizam o fluxo de gás e a uniformidade térmica.

Produção de células solares fotovoltaicas: transportadores de SiSiC especializados projetados para difusão de POCl3 em alto volume, oferecendo uma vida útil 5 a 10 vezes maior que o quartzo.

Visão especializada: Para processos superiores a 1.380°C, recomendamos nossa linha de SiC Sinterizado. No entanto, para a grande maioria das etapas de Difusão, Oxidação e LPCVD, o SiSiC fornece a relação desempenho-vida útil mais econômica do setor.

Por que ser nosso parceiro?

Conhecimento em materiais: Fornecemos apenas pó alfa-SiC de alta pureza e silício de grau eletrônico para nosso processo de ligação por reação.

Engenharia de precisão: Nossos recursos de retificação CNC permitem tolerâncias de ranhura de ±0,02 mm, reduzindo a vibração e quebra do wafer.

Sustentabilidade e ROI: Ao mudar do quartzo para o SiSiC, as fábricas normalmente observam uma redução de 40% nos gastos anuais com consumíveis devido à diminuição significativa da frequência de substituição.

Cada barco que enviamos é acompanhado por um Certificado de Conformidade (CoC) e um relatório de inspeção dimensional completo, garantindo que seu kit de processo esteja pronto para instalação imediata na sala limpa.