Transportador de wafer de silício

A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semifabricação OEM e componentes de manuseio de wafers com foco em camadas de carboneto de silício em indústrias de semicondutores. Somos fabricantes e fornecedores de transportadores de wafer de silício há muitos anos. Nosso Silicon Wafer Carrier tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Os processos de deposição de semicondutores usam uma combinação de gases precursores voláteis, plasma e alta temperatura para formar camadas de filmes finos de alta qualidade em wafers. As câmaras de deposição e as ferramentas de manuseio de wafers precisam de componentes cerâmicos duráveis para resistir a esses ambientes desafiadores.
O Semicorex Silicon Wafer Carrier é um carboneto de silício de alta pureza, que possui altas propriedades de corrosão e resistência ao calor, bem como excelente condutividade térmica.

Parâmetros do transportador de wafer de silício

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a Tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do transportador de wafer de silício

Grafite revestida com SiC de alta pureza
Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silício:

● Haste de cerâmica/pino de cerâmica/êmbolo de cerâmica

● Tubo cerâmico/bucha cerâmica/luva cerâmica

● Anel cerâmico/arruela cerâmica/espaçador cerâmico

● Disco cerâmico

● Placa cerâmica/bloco cerâmico

● Bola de cerâmica

● Pistão cerâmico

● Bocal cerâmico

● Cadinho cerâmico

● Outras peças cerâmicas personalizadas