Portador de Wafer de Silício

A Semicorex fornece cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semicondutores OEM e componentes de manuseio de wafer com foco em camadas de carboneto de silício em indústrias de semicondutores. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de Silicon Wafer Carrier. Nosso Silicon Wafer Carrier tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Os processos de deposição de semicondutores usam uma combinação de gases precursores voláteis, plasma e alta temperatura para formar camadas de filmes finos de alta qualidade em wafers. As câmaras de deposição e as ferramentas de manuseio de wafer precisam de componentes cerâmicos duráveis para resistir a esses ambientes desafiadores.
O Semicorex Silicon Wafer Carrier é um carboneto de silício de alta pureza, que possui propriedades de alta resistência à corrosão e ao calor, bem como excelente condutividade térmica.

Parâmetros do transportador de wafer de silício

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Reação de carboneto de silício sinterizado	Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistência à flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Força compressiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Knoop	2700	2800	/
Quebrando Tenacidade	MPa m1/2	4.5	4	/
Condutividade térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansão térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	Gpa	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do transportador de bolacha de silício

Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.

Formas disponíveis de cerâmica de carboneto de silícioï¼

Haste de cerâmica / pino de cerâmica / êmbolo de cerâmica

Tubo de cerâmica / bucha de cerâmica / luva de cerâmica

Anel de cerâmica / arruela de cerâmica / espaçador de cerâmica

Disco de cerâmica

Placa de cerâmica / bloco de cerâmica

Bola de cerâmica

Pistão de cerâmica

Bocal de cerâmica

Cadinho de cerâmica

â Outras peças de cerâmica personalizadas