Barco de wafer de carboneto de silício

A Semicorex projeta cerâmica de grau semicondutor para suas ferramentas de semifabricação OEM e componentes de manuseio de wafer. Nosso barco wafer de carboneto de silício tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeus e americanos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O barco wafer de carboneto de silício da Semicorex, com pureza extremamente alta (até 99,99%), excelente resistência ao plasma e resistência ao calor e ocorrência restrita de partículas, é usado em peças de equipamentos de processamento de semicondutores, incluindo componentes estruturais e ferramentas.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer barcos wafer de carboneto de silício de alta qualidade e econômicos, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nosso barco wafer de carboneto de silício.

Parâmetros do barco wafer de carboneto de silício

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

A diferença entre SSiC e RBSiC:

1. O processo de sinterização é diferente. O RBSiC deve infiltrar Si livre no carboneto de silício a baixa temperatura, o SSiC é formado por encolhimento natural a 2.100 graus.

2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.

3. Diferentes tempos de uso sob diferentes PH e temperatura, SSiC é mais longo que RBSiC

Características do barco wafer de carboneto de silício

Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.