Chuck de vácuo de carboneto de silício

O mandril de vácuo de carboneto de silício semicorex é uma parte importante da fabricação de semicondutores para processos que precisam de alta precisão e baixa contaminação. Os mandatos de vácuo são fabricados a partir de cerâmica de carboneto de silício poroso de alta pureza e fornecem excelente resistência mecânica, condutividade térmica e inércia química e apresenta uma estrutura de poros controlada com precisão para retenção de vácuo confiável. O chuck de vácuo de carboneto de silício é um dispositivo de adsorção funcional feito de um material cerâmico de carboneto de silício (SiC), que se baseia em pressão negativa a vácuo, adsorção eletrostática ou aperto mecânico para fornecer alcance estável da peça de trabalho. Os chucks a vácuo têm uso em semicondutores, fotovoltaicos, fabricação precisa e outras aplicações que têm uma demanda extraordinariamente alta por resistência ao material de alta temperatura, resistência ao desgaste e limpeza.

A base domandrilé um material SiC poroso, que possui uma permeabilidade de ar previsível em sua superfície. Isso significa que é possível adsorver com segurança uma bolacha sem fixação mecânica e, portanto, imaterializar o potencial de dano físico ou contaminação da amostra. A porosidade do material é fortemente controlada - normalmente com uma porosidade de 35-40% - para fornecer distribuição adequada de vácuo, mas também atendendo aos requisitos estruturais para o ciclo térmico e mecânico durável.

Wafer a vácuo Chucksgeralmente são feitos de uma superfície dura com muitos pequenos orifícios ou canais na superfície. Através desses pequenos orifícios, o mandril pode ser conectado a uma bomba de vácuo, o que cria um efeito de vácuo. Quando a bolacha é colocada no mandril, a bomba de vácuo é ligada e o ar é desenhado através dos pequenos orifícios, criando um vácuo entre a bolacha e o mandril. Esse efeito de vácuo cria sucção suficiente para prender firmemente a bolacha à superfície do chuck.

As superfícies cerâmicas são frequentemente usadas em aplicações que requerem alta pureza e estabilidade química. As cerâmicas são materiais produzidos por fusão de alta temperatura de minerais. De um modo geral, as cerâmicas são isoladores elétricos ou semicondutores e têm alta resistência a quebra térmica, erosão e danos.

O semicorex constrói o vácuo de carboneto de silício personalizado, com as especificações do cliente para coisas como dimensões, porosidade, acabamento de superfície e padrões para canalização de vácuo. Como resultado de nossos recursos de fabricação e sala limpa, oferecemos o melhor em derramamento e limpeza de partículas baixas para acomodar os requisitos de limpeza de todos os fabricantes de fabricantes de fabricantes e equipamentos semicondutores.

Podemos fazer um mandril de qualquer tamanho de bolacha, de 2,5 cm de bolacha e adaptação para integrar o mandril em uma infinidade de equipamentos de processamento de wafer. Ele pode ser usado para processos de front-end e/ou back-end, tornando o vácuo do SiC um meio de suporte econômico, preciso, estável e livre de contaminação de suporte de wafer no fluxo de trabalho Fab semicondutor.

O chuck de vácuo de carboneto de silício é uma ferramenta essencial na fabricação de semicondutores atuais, combinando os melhores materiais e engenharia. A confiabilidade durável e aderente através de extremos térmicos e químicos o torna o suporte perfeito em aplicações de processo que incluem, depilação, afinamento, limpeza e RTA. Ao adquirir o seu vácuo de carboneto de silício percorrer semicorex, você garante a melhor pureza material, soluções personalizadas e desempenho confiável para obter resultados superiores em todas as suas linhas de processamento de wafer.