O revestimento de SiC é uma camada fina sobre o susceptor através do processo de deposição química de vapor (CVD). O material de carboneto de silício oferece uma série de vantagens sobre o silício, incluindo 10x a resistência do campo elétrico de ruptura, 3x o intervalo de banda, que fornece ao material alta temperatura e resistência química, excelente resistência ao desgaste e condutividade térmica.
A Semicorex fornece serviço personalizado, ajuda você a inovar com componentes que duram mais, reduz os tempos de ciclo e melhora os rendimentos.
O revestimento de SiC possui várias vantagens exclusivas
Resistência a altas temperaturas: o susceptor revestido de CVD SiC pode suportar altas temperaturas de até 1600°C sem sofrer degradação térmica significativa.
Resistência química: O revestimento de carboneto de silício oferece excelente resistência a uma ampla gama de produtos químicos, incluindo ácidos, álcalis e solventes orgânicos.
Resistência ao Desgaste: O revestimento de SiC confere ao material uma excelente resistência ao desgaste, tornando-o adequado para aplicações que envolvem alto desgaste.
Condutividade Térmica: O revestimento CVD SiC fornece ao material alta condutividade térmica, tornando-o adequado para uso em aplicações de alta temperatura que requerem transferência de calor eficiente.
Alta Resistência e Rigidez: O susceptor revestido de carboneto de silício fornece ao material alta resistência e rigidez, tornando-o adequado para aplicações que requerem alta resistência mecânica.
O revestimento de SiC é usado em várias aplicações
Fabricação de LED: O susceptor revestido CVD SiC é usado na fabricação processada de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e LED UV profundo, devido à sua alta condutividade térmica e resistência química.
Comunicação móvel: o susceptor CVD SiC revestido é uma parte crucial do HEMT para concluir o processo epitaxial GaN-on-SiC.
Processamento de semicondutores: O susceptor revestido CVD SiC é usado na indústria de semicondutores para várias aplicações, incluindo processamento de wafer e crescimento epitaxial.
Componentes de grafite revestidos com SiC
Feito de grafite de carboneto de silício (SiC), o revestimento é aplicado por um método CVD a graus específicos de grafite de alta densidade, para que possa operar no forno de alta temperatura com mais de 3000 ° C em atmosfera inerte, 2200 ° C no vácuo .
As propriedades especiais e a baixa massa do material permitem altas taxas de aquecimento, distribuição uniforme de temperatura e excelente precisão no controle.
Dados de material do Revestimento Semicorex SiC
Propriedades típicas |
Unidades |
valores |
Estrutura |
|
FCC fase β |
Orientação |
Fração (%) |
111 preferido |
Densidade aparente |
g/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Capacidade de calor |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Expansão térmica 100-600 °C (212-1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Módulo de Young |
Gpa (dobra de 4pt, 1300â) |
430 |
Tamanho de grão |
¼m |
2~10 |
Temperatura de sublimação |
℃ |
2700 |
Força Felexural |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Conclusão O susceptor revestido CVD SiC é um material compósito que combina as propriedades de um susceptor e carboneto de silício. Este material possui propriedades únicas, incluindo alta temperatura e resistência química, excelente resistência ao desgaste, alta condutividade térmica e alta resistência e rigidez. Essas propriedades o tornam um material atraente para várias aplicações de alta temperatura, incluindo processamento de semicondutores, processamento químico, tratamento térmico, fabricação de células solares e fabricação de LEDs.
O susceptor de grafite revestido com SiC Semicorex MOCVD é um componente avançado e especializado usado no processo de deposição de vapor químico metal-orgânico, uma técnica crucial na produção de semicondutores, dispositivos optoeletrônicos e outros materiais avançados. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaSemicorex Susceptor Semiconductor, um revolucionário susceptor de grafite meticulosamente elaborado para elevar sua fabricação de semicondutores a novos patamares. Projetado com precisão e inovação, este susceptor possui um revestimento CVD SiC que o diferencia na indústria. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA Placa Susceptora Semicorex é um componente crucial no processo de crescimento epitaxial, projetada especificamente para transportar wafers semicondutores durante a deposição de filmes ou camadas finas. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaSusceptor Semicorex com Grade é um componente especializado usado no processo de crescimento epitaxial de wafers semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaLibere todo o potencial de seus processos epitaxiais semicondutores com o Semicorex Ring Set – um componente crucial fabricado a partir de grafite revestido de SiC. Projetado para elevar a eficiência e a confiabilidade do seu crescimento epitaxial, este acessório pequeno, porém poderoso, desempenha um papel fundamental para garantir o desempenho ideal em ambientes de fabricação de semicondutores.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaAumente a eficiência e a precisão de seus processos epitaxiais de semicondutores com o anel de pré-aquecimento Epi de última geração da Semicorex. Fabricado com precisão em grafite revestido com SiC, este anel avançado desempenha um papel fundamental na otimização do crescimento epitaxial, pré-aquecendo os gases do processo antes de entrarem na câmara.
consulte Mais informaçãoEnviar consulta