O revestimento de SiC é uma camada fina sobre o susceptor através do processo de deposição química de vapor (CVD). O material de carboneto de silício oferece uma série de vantagens sobre o silício, incluindo 10x a resistência do campo elétrico de ruptura, 3x o intervalo de banda, o que fornece ao material alta temperatura e resistência química, excelente resistência ao desgaste, bem como condutividade térmica.
A Semicorex oferece serviços personalizados, ajuda você a inovar com componentes que duram mais, reduzem os tempos de ciclo e melhoram os rendimentos.
O revestimento SiC possui várias vantagens exclusivas
Resistência a altas temperaturas: O susceptor revestido com CVD SiC pode suportar altas temperaturas de até 1600°C sem sofrer degradação térmica significativa.
Resistência Química: O revestimento de carboneto de silício oferece excelente resistência a uma ampla gama de produtos químicos, incluindo ácidos, álcalis e solventes orgânicos.
Resistência ao desgaste: O revestimento SiC confere ao material excelente resistência ao desgaste, tornando-o adequado para aplicações que envolvem alto desgaste.
Condutividade Térmica: O revestimento CVD SiC fornece ao material alta condutividade térmica, tornando-o adequado para uso em aplicações de alta temperatura que exigem transferência de calor eficiente.
Alta resistência e rigidez: O susceptor revestido de carboneto de silício confere ao material alta resistência e rigidez, tornando-o adequado para aplicações que requerem alta resistência mecânica.
O revestimento SiC é usado em diversas aplicações
Fabricação de LED: O susceptor revestido com SiC CVD é usado na fabricação de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e LED UV profundo, devido à sua alta condutividade térmica e resistência química.
Comunicação móvel: O susceptor revestido com CVD SiC é uma parte crucial do HEMT para completar o processo epitaxial GaN-on-SiC.
Processamento de semicondutores: O susceptor revestido de CVD SiC é usado na indústria de semicondutores para diversas aplicações, incluindo processamento de wafer e crescimento epitaxial.
Componentes de grafite revestidos com SiC
Feito de grafite Silicon Carbide Coating (SiC), o revestimento é aplicado por um método CVD em graus específicos de grafite de alta densidade, para que possa operar no forno de alta temperatura com mais de 3.000 °C em atmosfera inerte, 2.200 °C em vácuo .
As propriedades especiais e a baixa massa do material permitem taxas de aquecimento rápidas, distribuição uniforme de temperatura e excelente precisão no controle.
Dados materiais do revestimento Semicorex SiC
Propriedades típicas |
Unidades |
Valores |
Estrutura |
|
Fase β do FCC |
Orientação |
Fração (%) |
111 preferido |
Densidade aparente |
g/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Capacidade de calor |
J kg-1 K-1 |
640 |
Expansão térmica 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) |
430 |
Tamanho do grão |
μm |
2~10 |
Temperatura de Sublimação |
℃ |
2700 |
Força Felexural |
MPa (TR 4 pontos) |
415 |
Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Conclusão O susceptor revestido com CVD SiC é um material compósito que combina as propriedades de um susceptor e de carboneto de silício. Este material possui propriedades únicas, incluindo alta temperatura e resistência química, excelente resistência ao desgaste, alta condutividade térmica e alta resistência e rigidez. Essas propriedades o tornam um material atraente para diversas aplicações de alta temperatura, incluindo processamento de semicondutores, processamento químico, tratamento térmico, fabricação de células solares e fabricação de LED.
O disco de gravação Semicorex SiC ICP não é apenas um componente; é um facilitador essencial da fabricação de semicondutores de ponta. À medida que a indústria de semicondutores continua sua busca incansável pela miniaturização e desempenho, a demanda por materiais avançados como o SiC só se intensificará. Ele garante a precisão, a confiabilidade e o desempenho necessários para alimentar nosso mundo movido pela tecnologia. Nós da Semicorex nos dedicamos a fabricar e fornecer disco de gravação SiC ICP de alto desempenho que combina qualidade com economia.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaExistem extensas propriedades do Disco Epitaxy Revestido com SiC Semicorex que o tornam um componente indispensável na fabricação de semicondutores, onde a precisão, durabilidade e robustez dos equipamentos são fundamentais para o sucesso de dispositivos semicondutores de alta tecnologia. Nós da Semicorex nos dedicamos à fabricação e fornecimento de discos epitaxiais revestidos com SiC de alto desempenho que combinam qualidade com economia.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO susceptor Semicorex SiC para ICP Etch é fabricado com foco na manutenção de altos padrões de qualidade e consistência. Os robustos processos de fabricação usados para criar esses susceptores garantem que cada lote atenda a rigorosos critérios de desempenho, proporcionando resultados confiáveis e consistentes na gravação de semicondutores. Além disso, a Semicorex está equipada para oferecer cronogramas de entrega rápidos, o que é crucial para acompanhar as demandas de resposta rápida da indústria de semicondutores, garantindo que os prazos de produção sejam cumpridos sem comprometer a qualidade. Susceptor SiC para ICP Etch que combina qualidade com economia.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO anel de suporte revestido de SiC Semicorex é um componente essencial usado no processo de crescimento epitaxial de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO anel revestido de SiC Semicorex é um componente crucial no processo de crescimento epitaxial de semicondutores, projetado para atender aos exigentes requisitos da fabricação moderna de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA confiabilidade e o excelente desempenho do Semicorex SiC Boat para difusão de células solares decorre de sua capacidade de fornecer consistentemente nas condições exigentes de produção de células solares. As propriedades materiais de alta qualidade do SiC garantem que esses barcos tenham um desempenho ideal em uma ampla gama de condições operacionais, contribuindo para a produção estável e eficiente de células solares. Seus atributos de desempenho incluem excelente resistência mecânica, estabilidade térmica e resistência a estressores ambientais, tornando o SiC Boat para Difusão de Células Solares uma ferramenta indispensável na indústria fotovoltaica.
consulte Mais informaçãoEnviar consulta