Susceptador planetário

O Susceptador planetário de Semicorex é um componente indispensável para os reatores de epitaxia semicondutores, projetados especificamente para o equipamento Aixtron G5+. Construído a partir de grafite de alta pureza erevestido com carboneto de silício (sic), este suscettor garante estabilidade térmica superior, resistência química excepcional e desempenho incomparável em ambientes de alta temperatura.

O reator de epitaxia Aixtron G5+ permanece como uma referência na indústria para GaN, SIC e outros processos de crescimento semicondutores compostos. O susceptador planetário é fundamental na otimização do fluxo de gás, garantindo a rotação precisa da wafer, mantendo o controle exato da temperatura e alcançando a deposição uniforme de camadas epitaxiais. Seu design inovador aumenta significativamente a repetibilidade do processo, tornando-a a escolha ideal para ambientes de produção de alto volume.

Principais recursos  

- Composição avançada de material: feita de grafite de alta pureza com um revestimento SiC, fornecendo maior durabilidade e resistência a condições duras do processo.  

- Desempenho térmico otimizado: garante distribuição uniforme de calor, crítica para o crescimento da camada epitaxial de alta precisão.  

- Resistência química: o revestimento SiC impede a oxidação de grafite, estendendo a vida útil do suscettor e mantendo a pureza do processo.  

- Engenharia de Precisão: projetado para atender aos requisitos rigorosos dos sistemas Aixtron G5+, garantindo integração perfeita e eficiência ideal para o reator.  

- Alta uniformidade da superfície: minimiza a contaminação das partículas, apoiando a qualidade superior da wafer e maior rendimento na fabricação de semicondutores.  

Vantagens do nosso suscetador planetário  

- Vida de serviço estendido: oRevestimento sicreduz significativamente o desgaste, resultando em menor frequência de reposição e custos operacionais reduzidos.  

- Estabilidade de processo aprimorada: garante aquecimento consistente e gradientes térmicos mínimos, levando à produção de wafer de alta qualidade.  

- Compatibilidade e personalização: Disponível em projetos padrão e personalizados para atender aos requisitos específicos do processo Aixtron G5+.  

GrafiteAs peças desempenham um papel indispensável e muito importante no processo de semicondutores. A qualidade dos materiais de grafite tem um grande impacto na qualidade dos produtos acabados. Nossa consistência e homogeneidade do material em lote de grafite podem ser controladas e garantidas através do processo de produção.

1. Produção pequena em lote, o forno de carbonização usa apenas um pequeno forno com apenas 50 metros cúbicos

2. Cada pedaço de material é monitorado e rastreado

3. Monitoramento de temperatura de vários pontos no espaço do forno para garantir que a diferença de temperatura seja mantida em uma faixa muito pequena

4. Monitoramento de temperatura de vários pontos no material para garantir que a diferença de temperatura seja mantida em uma faixa muito pequena

Susceptador planetário semicorex é a solução premium para os reatores Aixtron G5+, oferecendo excelente estabilidade térmica, resistência química e desempenho de precisão. Projetado para os processos de fabricação de semicondutores mais exigentes, ele gera um maior rendimento de wafer, minimiza o risco de contaminação e estende a vida útil do equipamento. Atualize seu sistema de epitaxia com um suscetador de primeira linha para obter resultados incomparáveis.