Susceptor SiC Epi-Wafer

Semicorex é um fabricante e fornecedor em larga escala de Susceptor de Grafite Revestido de Carbeto de Silício na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores de epitaxia. Nosso susceptor SiC Epi-Wafer tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

A Semicorex fornece susceptor SiC Epi-Wafer revestido por MOCVD usado para suportar wafers. Sua construção de grafite revestida de carboneto de silício (SiC) de alta pureza oferece resistência superior ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável. O revestimento fino de cristal de SiC fornece uma superfície limpa e lisa, essencial para o manuseio, pois os wafers intactos entram em contato com o susceptor em muitos pontos em toda a sua área.
Nosso susceptor SiC Epi-Wafer foi projetado para alcançar o melhor padrão de fluxo de gás laminar, garantindo a uniformidade do perfil térmico. Isso ajuda a evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas, garantindo crescimento epitaxial de alta qualidade no chip wafer.
Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nosso susceptor SiC Epi-Wafer.

Parâmetros do susceptor SiC Epi-Wafer

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades do SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do susceptor SiC Epi-Wafer

Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.