Barcos de wafer de cerâmica de carboneto de silício

Seleção de materiais premium

As excelentes propriedades da cerâmica de carboneto de silício Semicorexbarcos de wafersão atribuíveis a matérias-primas de alta qualidade. Feitos de material SiSiC de grau semicondutor e cobertos com um revestimento CVD SiC, os barcos wafer de cerâmica de carboneto de silício exibem as seguintes excelentes propriedades.

1. Pureza ultra-alta, livre de liberação de impurezas metálicas

Impureza do substrato: <100 ppm

Impureza do revestimento CVD SiC: <1 ppm

2.Estabilidade térmica superior

Os barcos wafer de cerâmica de carboneto de silício são capazes de funcionar de forma constante em condições de alta temperatura de 1250 ℃, proporcionando deformação mínima e resistência à fluência.

3.Alta resistência mecânica

Carboneto de silíciopossui alta dureza e resistência ao desgaste, permitindo que os wafers cerâmicos de carboneto de silício Semicorex resistam a arranhões, abrasões e danos, tendo assim um bom desempenho durante a operação de longo prazo e sendo resistentes a danos.

4. Resistência excepcional à corrosão

Como o carboneto de silício é resistente à corrosão de ácidos e álcalis fortes, os barcos wafer cerâmicos de carboneto de silício Semicorex podem manter sua integridade estrutural e desempenho funcional mesmo sob condições de trabalho altamente corrosivas.

Projeto estrutural otimizado

Os barcos de wafer de cerâmica de carboneto de silício Semicorex são projetados para processamento de wafer em lote, sua estrutura estrutural otimizada garante suporte estável de wafer em lote e estabilidade de processo consistente para cada wafer.

Estrutura de suporte vertical de 1,3 postes

A estrutura vertical dos barcos wafer cerâmicos de carboneto de silício Semicorex permite que eles combinem perfeitamente com aplicações de fornos verticais. Com essa estrutura, os barcos wafer cerâmicos de carboneto de silício emicorex podem facilitar a circulação homogênea de gases de processo e a distribuição uniforme de energia térmica dentro do forno de alta temperatura.

2. Apertos de slot distribuídos uniformemente

Os barcos wafer de cerâmica de carboneto de silício Semicorex são equipados com vários encaixes de ranhura usinados com precisão em seus postes de suporte. Suas pinças de slot espaçadas uniformemente alcançam o espaçamento de slot apropriado, o que permite que os barcos de wafer de cerâmica de carboneto de silício fixem firmemente os wafers semicondutores, contribuindo assim para melhorar a consistência dos resultados do processamento térmico do wafer.

Com tantos desempenhos e funções excelentes, os barcos de wafer de cerâmica de carboneto de silício Semicorex são amplamente utilizados em processos centrais de fabricação de wafers semicondutores, como oxidação, difusão, implantação de íons e recozimento de alta temperatura.