A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/de coluna e horizontais. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nosso barco wafer cerâmico de carboneto de silício tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
Barco de wafer de cerâmica de carboneto de silício Semicorex, a solução definitiva para manuseio e proteção de wafer na fabricação de semicondutores.
Nosso barco wafer cerâmico de carboneto de silício é feito de material de alta qualidade revestido com uma camada de carboneto de silício (SiC) método CVD usado, que tem boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. A cerâmica avançada oferece excelente resistência térmica e durabilidade do plasma enquanto reduz partículas e contaminantes para transportadores de wafer de alta capacidade.
Parâmetros do barco de bolacha de cerâmica de carboneto de silício
Propriedades Técnicas |
||||
Índice |
Unidade |
Valor |
||
Nome do material |
Reação de carboneto de silício sinterizado |
Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão |
Carboneto de Silício Recristalizado |
|
Composição |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densidade aparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistência à flexão |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Força compressiva |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureza |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Quebrando Tenacidade |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Condutividade térmica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficiente de expansão térmica |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calor específico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura máxima no ar |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Módulo Elástico |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
A diferença entre SSiC e RBSiC:
1. O processo de sinterização é diferente. RBSiC é para infiltrar Si livre em carboneto de silício a baixa temperatura, SSiC é formado por encolhimento natural a 2100 graus.
2. SSiC tem superfície mais lisa, maior densidade e maior resistência, para algumas vedações com requisitos de superfície mais rígidos, SSiC será melhor.
3. Tempo de uso diferente sob PH e temperatura diferentes, SSiC é mais longo que RBSiC
Características do Barco Cerâmico Wafer de Carbeto de Silício
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.