Cerâmica de carboneto de silícioas pás são normalmente instaladas perto da abertura do forno ou câmara de processo, com uma extremidade fixa e a outra extremidade estendendo-se para dentro do forno ou câmara de processo. Durante o processamento operacional, as pás de cerâmica de carboneto de silício posicionam com precisão o transportador de wafers que transporta os wafers no local designado dentro do forno ou câmara de processo. Após o processamento, as pás em balanço recuperam o transportador e o movem para fora do forno ou câmara e o entregam ao braço robótico para a próxima etapa de manuseio.

As vantagens das pás de cerâmica de carboneto de silício Semicorex

1. Propriedades superiores e qualidade confiável

As pás de cerâmica de carboneto de silício Semicorex oferecem excelente estabilidade em altas temperaturas, alta resistência, alta dureza, estabilidade química e baixo coeficiente de expansão térmica. Com essas propriedades superiores, as pás de cerâmica de carboneto de silício Semicorex podem suportar por muito tempo as condições operacionais desafiadoras, como altas temperaturas, corrosão severa, cargas pesadas e operação mecânica frequente.

2. Suporte e transporte precisos

Contando com o excelente desempenho de suporte e transporte, a Semicorexpás cerâmicas de carboneto de silíciopode fixar com precisão os transportadores de wafer no lugar para garantir a concentricidade dos wafers em relação aos tubos do forno, o que reduz significativamente a inconsistência do processo causada pela agitação e desalinhamento do wafer durante o processo.

3. Operação automatizada altamente eficiente

As pás de cerâmica de carboneto de silício Semicorex normalmente funcionam em conjunto com sistemas robóticos automatizados de carga e manuseio para obter carregamento e descarregamento rápido de wafers. Isso reduz significativamente os ciclos de processo na fabricação de semicondutores e fotovoltaicos, melhora a eficiência da produção e reduz os custos de operação manual e os riscos de erro.

As aplicações das pás cerâmicas de carboneto de silício Semicorex

1. Fabricação de células fotovoltaicas

As pás cerâmicas de carboneto de silício Semicorex são adequadas para os processos térmicos de células fotovoltaicas, como difusão, LPCVD e PECVD de células TOPCon e PERC. Ao alcançar a uniformidade e estabilidade do processo, estas pás contribuem para a melhoria da eficiência de conversão das células fotovoltaicas.

2. Fabricação de chips semicondutores

Permanecendo como componentes essenciais de suporte e transporte, as pás de cerâmica de carboneto de silício Semicorex são amplamente aplicadas em processos como litografia, gravação e deposição durante a fabricação de chips semicondutores, permitindo transferência constantemente estável e posicionamento preciso de wafers.