Pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício

Semicorexpás cantilever cerâmicas de carboneto de silíciosão produzidos por sinterização em alta temperatura do corpo verde impresso em 3D em uma etapa, seguido pelo tratamento de revestimento por deposição química de vapor. Durante a operação real, as pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício são acionadas pelos sistemas de automação mecânica para transferir de maneira suave e constante componentes que transportam wafers para dentro e para fora de equipamentos de processamento de alta temperatura (como fornos de oxidação, fornos de difusão, fornos CVD, etc.). Esses componentes de carboneto de silício podem garantir efetivamente a precisão da concentricidade entre os wafers e os tubos do forno, garantindo assim uniformidade e estabilidade do processo durante processos críticos, como difusão, oxidação e deposição de vapor químico.

O desempenho das pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício Semicorex

1. Baixo desempenho de poluição:

Semicorexcarboneto de silíciopás cantilever de cerâmica, processadas com tratamento de alta precisão, atingem padrões livres de poeira e partículas. Suas matrizes têm teor de impurezas estritamente controlado abaixo de 300PPM, e o teor de impurezas do revestimento de carboneto de silício CVD é ainda inferior a 5PPM.

2. Estabilidade de alta temperatura:

Devido à excelente resistência a altas temperaturas e resistência ao choque térmico do carboneto de silício, as pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício Semicorex podem manter por muito tempo sua estabilidade estrutural em altas temperaturas de até 1250°C, sem deformar, amolecer ou ser danificado por altas temperaturas.

3. Capacidade de carga excepcional:

As pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício Semicorex oferecem excepcional capacidade de carga, beneficiando-se de seu design estrutural exclusivo e de suas propriedades superiores de material (alta resistência mecânica e dureza). Essa excepcional capacidade de carga permite suportar o peso de grandes lotes de wafers para atender às necessidades de produção em massa, o que melhora efetivamente a eficiência do processamento em lote de wafers.

4. Notável resistência à corrosão:

As pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício Semicorex apresentam excelente resistência à corrosão por oxigênio, cloro e outras substâncias corrosivas presentes em altas temperaturas em processos de fabricação de semicondutores e fotovoltaicos. Este desempenho superior é crucial para garantir o bom funcionamento dos processos de produção, evitando as perdas e o tempo causados ​​por danos às pás cantilever cerâmicas de carboneto de silício.

O método de embalagem das pás cantilever de cerâmica de carboneto de silício Semicorex