Barcos cassete de carboneto de silício

Semicorexbarcos cassete de carboneto de silíciosão os componentes de transporte indispensáveis, com sua estrutura estável e de alta resistência, seguram, transferem e manuseiam com segurança e precisão vários wafers semicondutores. Eles são amplamente utilizados em vários processos de semicondutores de alta temperatura para garantir uma distribuição otimizada do fluxo de calor e gás para resultados de processamento consistentes.

Matéria-prima cuidadosamente selecionada

Fabricados com precisão a partir de pó de carboneto de silício de grau semicondutor por meio de sinterização em alta temperatura, os barcos cassete de carboneto de silício Semicorex possuem as seguintes excelentes propriedades.

1. Pureza ultra-alta:O teor de impurezas do substrato é controlado para estar abaixo de 100 PPM, e o nível de impurezas doCarboneto de silício CVDo revestimento pode atingir menos de 1 PPM.

2.Resistência à corrosão confiável:A cerâmica de carboneto de silício oferece forte resistência à corrosão e é resistente à corrosão da maioria dos ácidos (como ácido clorídrico, ácido sulfúrico e ácido fluorídrico), álcalis (como soda cáustica), solventes e meios oxidantes.

3. Capacidade excepcional de gerenciamento térmico:Com excepcional resistência térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, os cassetes de carboneto de silício podem manter suas propriedades químicas e resistência mecânica mesmo quando expostos a condições operacionais prolongadas a altas temperaturas em torno de 1250 °C.

Estrutura projetada com precisão

1. Estrutura do quadro horizontal:A estrutura horizontal dos barcos cassete de carboneto de silício Semicorex faz com que eles se encaixem perfeitamente em tubos horizontais de forno de alta temperatura.

2. Entalhes de slot com espaçamento uniforme:Apresentando vários entalhes de ranhura uniformemente espaçados, os cassetes de carboneto de silício Semicorex podem segurar firmemente o wafer no lugar, o que pode evitar significativamente arranhões, abrasões e danos indesejados resultantes do deslocamento do wafer, garantindo assim efetivamente a estabilidade do processo de semicondutores e o rendimento do wafer.

3. Design multi-slot:Vários slots projetados para transportar vários wafers permitem que os cassetes de carboneto de silício Semicorex melhorem seu rendimento de processamento de lote único e eficiência geral de produção.

4. Arquitetura aberta:Os cassetes de carboneto de silício Semicorex são equipados com uma arquitetura aberta bem pensada, que pode ajudar a obter distribuição uniforme de gás e contato de reação suficiente, o que minimiza efetivamente resultados inconsistentes do processo.