Barcos de carboneto de silício

Os barcos de carboneto de silício semicorex exibem estabilidade térmica excepcional, permitindo que eles suportem as temperaturas extremas necessárias para os processos de oxidação e difusão. Sua excelente resistência ao choque térmico minimiza o risco de quebrar ou deformação, garantindo a longevidade operacional prolongada. A composição SiC de alta densidade fornece resistência mecânica superior, mantendo a integridade estrutural mesmo sob ciclo térmico contínuo. Essa resistência excepcional ao estresse mecânico reduz a probabilidade de contaminação e quebra de wafer, contribuindo para maiores rendimentos de processo. Além disso, os barcos SiC possuem excelente resistência química, permanecendo inerte a gases de processo agressivos usados ​​nas etapas de oxidação e difusão. Essa característica impede reações indesejadas que possam comprometer a pureza da wafer e a eficiência da produção.

Os barcos de carboneto de silício são utilizados principalmente em fornos de oxidação e difusão, onde é essencial controle preciso sobre a exposição a wafer a altas temperaturas e gases reativos. Eles apoiam as bolachas durante a oxidação térmica para cultivar camadas de dióxido de silício de alta qualidade e facilitar o doping uniforme através da exposição controlada a gases dopantes. Além disso, eles fornecem uma plataforma estável para recozimento e outros tratamentos de alta temperatura que requerem exposição ao calor prolongada.

Comparados aos barcos tradicionais de quartzo e grafite, os barcos de carboneto de silício oferecem durabilidade, longevidade e desempenho incomparáveis. Sua capacidade de suportar ambientes térmicos e químicos severos e minimizar a contaminação os torna a escolha preferida para a fabricação de semicondutores de alta precisão. Com foco na qualidade e inovação, nossos barcos de carboneto de silício oferecem desempenho superior, garantindo altos rendimentos e processamento eficiente de bolacha para fabricantes de semicondutores em todo o mundo. Seja para tecnologias avançadas de nós ou fabricação de semicondutores herdados, esses barcos fornecem uma solução confiável para atender aos requisitos rigorosos do setor.

(1) Transporte e proteção: os barcos de carboneto de silício transportam materiais semicondutores, como as bolachas através de seus colchetes ou slots internos, e usa a alta resistência à corrosão e da corrosão dos materiais de carboneto de silício para proteger as bolachas do ambiente externo.

(2) Aquecimento uniforme: o barco de carboneto de silício permite que as bolachas sejam aquecidas uniformemente durante o processo de tratamento térmico. Isso ajuda a garantir que a temperatura e a taxa de reação de cada parte da bolacha permaneçam consistentes durante o processo de tratamento térmico, melhorando assim o rendimento e a qualidade da bolacha.

Atualmente existem três tipos principais decerâmica de carboneto de silícioMateriais: sinterização da reação, sinterização sem pressionamento e sinterização de recristalização. Na maioria das aplicações, o carboneto de silício sinterizado da reação é um produto mais adequado e econômico. Os barcos SiC recristalizados geralmente sinterizam e processam várias partes da unidade primeiro, depois usam a pasta Si para combinar as peças em um barco a alta temperatura e, finalmente, aplique o revestimento CVD-SIC (cerca de 100um). Como a recristalização é porosa, se não houver revestimento SiC, ela também introduzirá Particals no processo de semicondutores. Esse tipo de barco SiC recristalizado com revestimento CVD-SIC tem o processo de fabricação mais longo e é muito caro. Comparado com os barcos de grafite revestidos com SiC, os barcos SiC recristalizados CVD-SIC não têm problema de incompatibilidade de CTE.