Suporte para wafer SiC

O suporte de wafer SiC Semicorex é feito de carboneto de silício de alta pureza, que apresenta excelente estabilidade térmica, resistência mecânica e resistência química. Esses materiais são escolhidos para minimizar a contaminação, evitar danos aos wafers e resistir às exigentes condições de processamento de semicondutores.

Durante processos térmicos, como recozimento ou difusão, o suporte do wafer de SiC desempenha um papel crucial na manutenção da distribuição uniforme da temperatura em toda a superfície do wafer. Sua alta condutividade térmica permite uma transferência de calor eficiente, minimizando gradientes térmicos e garantindo resultados de processo consistentes.

Os suportes de wafer de SiC são frequentemente projetados para acomodar tamanhos de wafer específicos, variando de alguns centímetros a diâmetros maiores, dependendo da aplicação. Eles podem apresentar vários suportes dispostos em um cassete ou transportador para facilitar o processamento em lote e aumentar o rendimento.

O suporte de wafer SiC Semicorex é uma ferramenta crítica na fabricação de semicondutores, fornecendo uma plataforma segura e estável para wafers de carboneto de silício em várias etapas de processamento. Seu design e composição de material garantem a integridade do wafer, facilitam a distribuição uniforme da temperatura e permitem o manuseio e processamento eficiente do wafer.