Barcos de wafer SiC

Os barcos Wafer Semicorex SiC são componentes avançados meticulosamente projetados para fabricação de semicondutores, especificamente em processos térmicos e de difusão. Com o nosso firme compromisso de fornecer produtos de alta qualidade a preços competitivos, estamos prontos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.*

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Descrição do produto

O Semicorex SiC Wafer Boat, fabricado em cerâmica de carboneto de silício (SiC), é líder no atendimento às demandas da indústria de semicondutores, oferecendo desempenho incomparável em ambientes de alta temperatura. À medida que a indústria de semicondutores ultrapassa incansavelmente os limites da microfabricação, a procura por materiais resilientes e robustos torna-se primordial.

O SiC Wafer Boat desempenha um papel crucial na retenção e suporte de vários wafers durante processos térmicos, como difusão, oxidação e deposição química de vapor (CVD). Esses processos envolvem submeter os wafers a temperaturas extremamente altas, muitas vezes superiores a 1.000°C, em uma atmosfera controlada. A uniformidade e consistência destes tratamentos térmicos são fundamentais para garantir a qualidade e o desempenho dos dispositivos semicondutores fabricados. A capacidade do SiC Wafer Boat de suportar temperaturas tão altas sem deformação ou degradação garante que os wafers sejam processados uniformemente, levando a um rendimento e desempenho superiores do dispositivo.

A excepcional condutividade térmica dos wafers de SiC garante uma distribuição uniforme de calor em todos os wafers, minimizando o risco de gradientes de temperatura que podem levar a defeitos nos dispositivos semicondutores. Além disso, o baixo coeficiente de expansão térmica (CTE) do SiC resulta em expansão e contração térmica mínimas durante os ciclos de aquecimento e resfriamento. Esta estabilidade é crucial para evitar tensões mecânicas e possíveis danos aos wafers, especialmente com geometrias de dispositivos contraídas.

Durante os processos térmicos, os wafers são expostos a vários gases reativos que podem interagir com os materiais do barco wafer de SiC. A excelente resistência química do SiC garante que ele não reaja com esses gases, evitando a contaminação e garantindo a pureza dos wafers. Isto é particularmente crucial na produção de dispositivos semicondutores avançados, onde mesmo vestígios de contaminação podem levar a defeitos e reduzir a confiabilidade do dispositivo.