SiC Wafer Boat

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/de coluna e horizontais. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nosso SiC Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Apresentamos nosso SiC Wafer Boat de alta qualidade, projetado para fornecer uma solução confiável para o processamento de wafer em vários setores. Esses pedestais de cerâmica são fabricados com cerâmica de alta pureza, que oferece excelente resistência a choque térmico, abrasão e corrosão química, tornando-os ideais para ambientes hostis de processamento de wafer.
Nossos SiC Wafer Boats também são altamente personalizáveis, e podemos trabalhar com você para criar pedestais personalizados para atender às suas especificações exclusivas. Temos orgulho de nossa capacidade de fornecer produtos confiáveis e de alta qualidade que atendem às demandas de nossos clientes. Nossos barcos de wafer de cerâmica são feitos para durar e oferecer uma longa vida útil, garantindo que você obtenha o máximo valor de seu investimento.
Faça seu pedido agora e experimente os benefícios do nosso SiC Wafer Boat de alta qualidade em suas operações de processamento de wafer.

Parâmetros do SiC Wafer Boat

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Reação de carboneto de silício sinterizado	Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistência à flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Força compressiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Knoop	2700	2800	/
Quebrando Tenacidade	MPa m1/2	4.5	4	/
Condutividade térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansão térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	Gpa	360	410	240

Características do SiC Wafer Boat

- Revestimentos de carboneto de silício CVD para melhorar a vida útil.
- Isolamento térmico em carbono rígido purificado de alto desempenho.
- Possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
- Cerâmica de alta pureza e revestimento de SiC para resistência a furos e maior vida útil