Barco de wafer SiC

A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/colunas e horizontais. Somos fabricantes e fornecedores de filme de revestimento de carboneto de silício há muitos anos. Nosso SiC Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maior parte dos mercados europeu e americano. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Apresentando nosso SiC Wafer Boat de alta qualidade, projetado para fornecer uma solução confiável para processamento de wafer em vários setores. Esses pedestais de cerâmica são fabricados com cerâmica de alta pureza, que oferecem excelente resistência a choque térmico, abrasão e corrosão química, tornando-os ideais para ambientes severos de processamento de wafers.
Nossos barcos SiC Wafer também são altamente personalizáveis e podemos trabalhar com você para criar pedestais personalizados para atender às suas especificações exclusivas. Temos orgulho de nossa capacidade de fornecer produtos confiáveis e de alta qualidade que atendam às demandas de nossos clientes. Nossos barcos wafer de cerâmica são feitos para durar e oferecer uma longa vida útil, garantindo que você obtenha o máximo valor do seu investimento.
Faça seu pedido agora e experimente os benefícios de nosso SiC Wafer Boat de alta qualidade em suas operações de processamento de wafer.

Parâmetros do barco wafer SiC

Propriedades Técnicas
Índice	Unidade	Valor
Nome do material		Carboneto de silício sinterizado de reação	Carboneto de silício sinterizado sem pressão	Carboneto de Silício Recristalizado
Composição		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidade aparente	g/cm3	3	3,15±0,03	2,60-2,70
Resistência à Flexão	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistência à Compressão	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botão	2700	2800	/
Quebrando a tenacidade	MPam1/2	4.5	4	/
Condutividade Térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de Expansão Térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor Específico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima no ar	℃	1200	1500	1600
Módulo Elástico	GP	360	410	240

Características do Barco Wafer SiC

- Revestimentos de carboneto de silício CVD para melhorar a vida útil.
- Isolamento térmico em carbono rígido purificado de alto desempenho.
- Possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
- Revestimento cerâmico e SiC de alta pureza para resistência a furos e maior vida útil