Tubos sic

Os tubos semicorex sic (tubos do forno SiC) são componentes premium fortemente utilizados na indústria de semicondutores devido à sua estabilidade térmica ideal, força mecânica e extrema resistência a produtos químicos agressivos em uma variedade de aplicações. Os tubos SiC semicorex foram projetados para sobreviver às condições mais adversas associadas ao processamento de alta temperatura. Os tubos SiC são claramente um material preferido e superior para fornos de difusão, sistemas LPCVD/PECVD e em ambientes usados para crescimento epitaxial em que a contaminação do material e o diferencial térmico são considerações -chave.

Os tubos SiC semicorex são fabricados a partir de pós de pureza ultra-alta, utilizando metodologias avançadas de sinterização e técnicas de controle de processos que preservam a pureza do SiC. O resultado é que os tubos SiC têm condutividade térmica ideal, características de baixa expansão térmica e têm peso distribuído ao longo do comprimento do tubo, minimizando efetivamente o estresse térmico, mesmo quando exposto a um rápido ciclo térmico. Assim, a utilização de tubos SiC fornece uma respeito de alto ano durante os processos contínuos de alta temperatura (até 1600 ° C)-garantindo assim a uniformidade nos processos de fabricação de semicondutores, aumentando a eficiência geral em escalas consistentes.

A principal vantagem do SIC é que ele é quimicamente inerte. SiC is virtually non-porous (complying with ASTM-G654 GP-4 grading) and unsurpassed when it comes to resistance corrosive gases and reactive chemicals used in semiconductor development including HCl, NH₃, SiH₄ etc. It is also noted that quartz tubes will degrade and deform with use over time in aggressive atmospheres however SiC tubes retain their integrity in extreme environments providing Estabilidade dimensional e aumento do tempo de serviço, minimizando a desaceleração da taxa de transferência relacionada a alterações e substituições do tubo. Os principais benefícios para a fabricação de semicondutores são claros; O uso de tubos SiC pode diminuir o custo total de propriedade descendente por semanas ou até meses, mantendo a confiabilidade no que se refere a processos industriais.

Os tubos SiC semicorex vêm em muitos diâmetros, comprimentos e especificações personalizadas para acomodar diferentes projetos de forno e requisitos de processamento. As superfícies internas podem ser polidas, o que melhora a limpeza, reduz a geração de partículas e é um detalhe importante nos espaços de semicondutores ultra limpos. O uso de tubos semicorex -SiC pode ajudar a reduzir o risco de contaminação e contribui para o aumento do rendimento da wafer com tolerâncias apertadas e melhoria da qualidade da superfície.

A experiência semicorex sic inclui anos de processamento de carboneto de silício, com foco em engenharia precisa e controle de qualidade para atender aos padrões de qualidade rigorosos e exigentes da indústria de semicondutores. Nossos tubos são testados e validados com inspeções, que são críticas para garantir pureza, densidade e desempenho nos ambientes térmicos mais extremos. A Semicorex também fornece suporte técnico e opções de design personalizado para ajudar a otimizar o sistema de forno para aplicações específicas.

Seja lógica de fabricação, dispositivos de energia ou optoeletrônica, os tubos SiC semicorex apresentam uma opção confiável e durável para o processamento de alta temperatura. Ao selecionar o Semicorex, você não está apenas garantindo a eficiência, mas um processo estável e eficiente a longo prazo para a fabricação de semicondutores.