Braço Robô SiC
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Braço Robô SiC

O braço robótico Semicorex SiC é um braço robótico cerâmico de carboneto de silício de alto desempenho projetado para precisão e durabilidade em processos de fabricação de semicondutores. Escolha a Semicorex por nossa experiência no fornecimento de soluções inovadoras, confiáveis ​​e de alta qualidade, adaptadas às necessidades da indústria de semicondutores.*

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Descrição do produto

O braço robótico Semicorex SiC é uma tecnologia de pontacerâmica de carboneto de silíciobraço robótico projetado para atender às rigorosas demandas da fabricação de semicondutores. Aproveitando as propriedades excepcionais do carboneto de silício, este braço robótico oferece desempenho incomparável em manuseio preciso, estabilidade em altas temperaturas e resistência química, tornando-o um ativo indispensável para processos avançados de semicondutores.


Fabricado em alta purezacerâmica de carboneto de silício, o SiC Robot Arm possui notável resistência mecânica e excelente condutividade térmica. Sua composição de material exclusiva garante excelente desempenho em condições adversas, como temperaturas extremas e exposição a produtos químicos corrosivos, ao mesmo tempo que mantém padrões operacionais ultralimpos. Ao contrário dos materiais convencionais, como aço inoxidável ou alumínio, o carboneto de silício proporciona rigidez superior, garantindo deformação mínima mesmo sob estresse mecânico. Esta característica é crítica para manter a precisão e estabilidade exigidas na produção de semicondutores.


A estabilidade térmica avançada do braço robótico SiC permite que ele funcione de forma confiável em ambientes de alta temperatura. Resiste à expansão térmica e mantém a integridade dimensional, tornando-o ideal para processos térmicos como recozimento, oxidação e difusão. Além disso, a inércia química do braço garante que ele possa operar em ambientes de gravação a plasma e deposição química de vapor (CVD), onde a exposição a gases e líquidos agressivos é rotineira. Esses atributos contribuem para prolongar a vida útil e reduzir os custos de manutenção, traduzindo-se em maior eficiência operacional.


Em ambientes de salas limpas, é essencial manter uma baixa geração de partículas. O braço robótico SiC atende a esse requisito com sua superfície densa e não reativa que minimiza o derramamento de partículas. Essa propriedade garante a limpeza do processo de semicondutores e reduz o risco de contaminação, o que é fundamental para alcançar altos rendimentos de produção e minimizar defeitos. Além disso, a natureza leve do carboneto de silício reduz a pressão sobre os sistemas robóticos, aumentando a eficiência energética e a longevidade geral do sistema.


Aplicações em Processos de Semicondutores

O SiC Robot Arm é uma ferramenta essencial em diversas etapas da fabricação de semicondutores. No manuseio de wafers, garante a transferência segura e precisa de wafers de silício entre estações de processamento, reduzindo o risco de danos mecânicos e contaminação. Sua resistência química e estabilidade térmica o tornam indispensável para processos de gravação a plasma e deposição química de vapor, onde mantém o desempenho apesar da exposição a condições adversas. Durante processos térmicos como recozimento ou oxidação, o braço mantém sua integridade estrutural e operação precisa, garantindo resultados consistentes e confiáveis. Além disso, sua alta precisão e estabilidade são ideais para aplicações de inspeção e metrologia, onde o posicionamento exato é crucial.


A Semicorex garante que cada braço robótico SiC seja meticulosamente elaborado para atender às rigorosas demandas da indústria de semicondutores. O produto está disponível em configurações personalizáveis ​​para atender aos requisitos específicos do processo. Dimensões personalizadas, acabamentos de superfície aprimorados e opções de integração com sistemas robóticos existentes são apenas alguns dos recursos de personalização oferecidos, permitindo a adoção perfeita em diversas linhas de produção de semicondutores.


Escolher o braço robótico SiC significa investir em um produto que incorpora qualidade, durabilidade e precisão. Na Semicorex, temos orgulho de fornecer soluções inovadoras apoiadas por anos de experiência na fabricação de materiais semicondutores. Nosso compromisso com a excelência garante que nossos produtos melhorem a eficiência, a confiabilidade e o rendimento dos processos na indústria de semicondutores em constante evolução.


Concluindo, o SiC Robot Arm é mais do que um componente; é a base da fabricação avançada de semicondutores. Seu design robusto, propriedades de material superiores e desempenho de precisão fazem dele um complemento vital para qualquer linha de produção que pretenda alcançar excelência em eficiência e qualidade.


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