Tubo de Processo de SiC

SiC Process Tube é um reator em forma de tubo em tratamento térmico para processamento de wafer. A Semicorex está empenhada em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos, estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O tubo de processo Semicorex SiC (Carbeto de Silício) é um componente especializado usado em processos de tratamento térmico de wafer, particularmente em aplicações que requerem altas temperaturas, atmosferas corrosivas ou ambas. Ele é projetado para fornecer um ambiente protegido e controlado para pastilhas semicondutoras durante o tratamento térmico ou processamento térmico.

O tubo de processo é cuidadosamente projetado para criar uma câmara selada onde os wafers são colocados para tratamento térmico. Atua como uma barreira, impedindo o contato direto dos wafers com o meio ambiente. Este isolamento é crucial para manter a pureza da atmosfera de processamento e proteger os wafers da contaminação.

Dentro do tubo de processo de SiC, ocorre o tratamento térmico do wafer. Isso pode incluir vários processos, como recozimento, oxidação, difusão e outros tratamentos térmicos necessários para modificar as propriedades do material do wafer. As propriedades do tubo, como sua alta condutividade térmica e resistência ao ataque químico, ajudam a garantir a distribuição uniforme da temperatura e a proteção dos wafers.

Tubos de processo de SiC são componentes críticos em processos de tratamento térmico de wafer. Sua resistência a altas temperaturas, inércia química e capacidade de criar um ambiente controlado garantem a execução bem-sucedida das etapas de processamento térmico, levando à produção de pastilhas semicondutoras de alta qualidade.