Tubos sic

Os tubos SiC semicorex são peças de cerâmica para sistemas de forno semicondutores.  Eles possuem propriedades únicas, que incluem alta transmissão térmica e alta resistência à temperatura e química necessária em aplicações semicondutores, onde existem condições ambientais de alta temperatura e alta temperatura que são esperadas e onde as propriedades são desejáveis ​​- durabilidade, eficiência energética e condições de processo estabelecidas - que permitem usar os usos econômicos na semicora avançada.

Os tubos sic semicorex usam um grão fino de alta purezacarboneto de silícioIsso é fabricado para ter uma estabilidade mecânica excepcional de alta temperatura como resultado de métodos e técnicas avançadas de sinterização e recristalização. A possibilidade do SiC de alto desempenho resulta em excepcional força mecânica e retenção de estabilidade térmica a altas temperaturas operacionais. O SIC tem dureza excepcional que atenua o desgaste ou deformação potencial.  Além disso, os atributos associados às propriedades do SiC são coeficientes de expansão térmica de baixo combustível, são benéficos porque limitam o estresse térmico, pois haverá requisitos para ciclismo esse material entre calor extremo e baixo em operação. Em todas essas considerações, eles têm uma utilidade especial para aplicações ideais em fornos de difusão, fornos de oxidação e sistemas de LPCVD/PECVD para manter o máximo de condições estáveis ​​do processo são benéficas para eliminar ou limitar defeitos que também são métricas relacionadas a bolas ou material altamente estável, mesmo condições de processo.

Outra utilidade importante dos tubos SiC são os altos perfis de condução térmica em condições específicas e os projetos de forno aplicáveis ​​para produzir altas taxas de condutiva e, crucialmente, uma distribuição uniforme e constante da temperatura ao longo do processo.  Esse comportamento confiável permite que as bolachas sejam expostas a distribuições de temperatura semi-iguais em intervalos de tempo razoáveis ​​e, adicionalmente, limitem os gradientes térmicos para mitigar as bolachas distorcidas e/ou desertadas com fundo plano, melhorando mais condições de deposição de filmes.

A estabilidade e resistência química é outro fator de desempenho importante.  Nos processos de semicondutores, o tubo do forno é submetido à influência de gases altamente reativos, incluindo oxigênio, hidrogênio, amônia e todos os halogênios, que podem degradar materiais convencionais de maneira rápida. A microestrutura densa e não porosa, juntamente com a natureza quimicamente inerte do SIC, protege-a contra a oxidação e corrosão enquanto oferece desempenho operacional e mecânico no ambiente de processo extremo.  A durabilidade dos fornos SiC os ajuda a manter a integridade da forma e a precisão dimensional por longos períodos de tempo, o que é importante para o controle e a estabilidade do processo.

Os tubos SIC podem ser fabricados em uma ampla gama de tamanhos e espessuras da parede, com formato geometricamente para ajustar os projetos de forno e as necessidades de processo.  As características exatas de usinagem de precisão também são mantidas durante o projeto e a produção de tubos SiC, para que as tolerâncias operacionais possam ser apertadas, com superfícies internas suaves e excelente concordância para manter um equilíbrio de fluxo de gás laminar e perfis térmicos uniformes. O polimento da superfície e os revestimentos podem ser fornecidos como opções de tratamento que aumentarão o desempenho, reduzindo a geração de partículas e melhorando a resistência à corrosão.

Os tubos SIC têm vantagens operacionais e de custo claras em comparação com materiais alternativos, como tubos de quartzo ou alumina.  O custo inicial dos componentes do SIC pode ser um pouco maior, mas a vida útil do produto, a redução na quebra e os requisitos de manutenção mais baixos resulta no custo total de propriedade, que é custos mais baixos que materiais e tubos alternativos.

Para concluir, semicorexSicOs tubos são a melhor opção para aplicações de forno semicondutor, pois fornecem o melhor desempenho térmico, resistência mecânica, resistência química e confiabilidade para exigir ambientes de produção. Este material melhora a estabilidade do processo e auxilia na economia e eficiência de custos na estrada (ou seja, menor consumo de energia). Os tubos SIC são um material fundamental para a fabricação moderna de semicondutores.