Tubo de oxidação SiC

O tubo de oxidação semicorex-sic é construído a partir de cerâmica de carboneto de silício de alta pureza projetada para processos de oxidação, difusão ou recozimento normalmente realizados a 1600 ° C. Como parte de um forno sic, horizontal ou vertical, este é o ambiente controlado em que as bolachas são aquecidas durante a oxidação. A função do tubo de oxidação é fornecer um ambiente limpo, uniforme e estável para o tratamento térmico das bolachas de carboneto de silício (sic) na fabricação de dispositivos de energia e semicondutores amplos de banda, como abertura do processo de oxidação potencial constante, o tubo de oxidação atua como um direcionável consumível para o primeiro uso. Enquanto os tubos de quartzo e alumina são frequentemente encontrados quebrando com o tempo através da devitrificação, deformação ou quebra química, o carboneto de silício tem durabilidade excepcional contra desafios de choque térmico, aprimoramento da propriedade mecânica e inércia química. Esses fatores produzem carboneto de silício como uma ótima opção para tubos de oxidação em ambientes de alta confiabilidade e alta taxa de transferência.

Utilizando formas avançadas de formação, como prensagem isostática fria e sinterização sem pressionamento (ou recristalização), o Semicorex produz tubos de oxidação SiC que possuem uma microestrutura densa, alheva a gás e homogênea. Isso fornece força sem o risco de porosidade, permitindo que o processo de oxidação prossiga sem contaminação. O SiC possui condutividade térmica muito alta, permitindo distribuição térmica uniforme na zona de carga de wafer e, assim, reduzindo os gradientes térmicos que podem causar bolachas ou defeitos distorcidos. A resistência do tubo a ácidos, bases e gases reativos impedem interações químicas indesejadas com a superfície da wafer e também através do ambiente do forno.

Não se arrasta, não se deforma. O tubo não precisa ser substituído após vários ciclos de produção-são ambientes de ciclagem térmica de longo prazo que, de outra forma, destruiriam materiais menores. Portanto, nenhuma interrupção de alta frequência significa baixos custos operacionais, e isso mantém o fluxo do processo sem interrupções. Isso também reduz os riscos de contaminação que podem facilmente reduzir o desempenho do rendimento em dispositivos semicondutores de próxima geração, onde as impurezas traços desempenham um papel crítico. O Semicorex produz dimensões padrão e totalmente personalizado do tubo para qualquer plataforma e receita do forno usado. O diâmetro interno e externo, comprimento, espessura da parede e acabamento da superfície são parâmetros que podem exigir um ajuste para atender a diferentes necessidades térmicas e mecânicas específicas; Desde fornos de P&D em escala de laboratório até grandes linhas de fabricação-em cada caso em que o tubo precisa de usinagem, limpeza e inspeção para garantir o desempenho.

O controle da qualidade começa com verificações dimensionais, testes de densidade do material e validação de confiabilidade do ciclo térmico para cada tubo de oxidação do SiC. Um forte sistema de rastreabilidade de material registra o produto do seu estágio de pó cru até a inspeção final. Esse tipo de qualidade oferece aos clientes uma mão constante na estabilidade e reprodutibilidade a longo prazo de nossos tubos de oxidação do SIC.

Escolha o Semicorex e obtenha um parceiro em um fornecedor que combina engenharia cerâmica avançada com amplo controle de processos e suporte técnico responsivo trabalhando juntos desde o início. Aprendemos sobre o seu ambiente de forno específico, os requisitos de processo e os desafios de integração, para que possamos oferecer soluções personalizadas, melhorando os resultados do processo e o tempo de atividade da ferramenta.

O tubo de oxidação semicorex sic oferece o melhor desempenho térmico possível com estabilidade química e resistência mecânica. Torna-se o coração de qualquer sistema de processamento SiC de alta temperatura, fornecendo um ambiente térmico uniforme durante os materiais semicondutores avançados de oxidação e recozimento. Para os fabricantes que exigem que os componentes do forno sejam confiáveis, limpos e duradouros, o Semicorex será uma escolha de produto suportada pelo conhecimento e pela experiência, bem como um padrão de entrega do melhor do melhor.