Tubos de Forno Horizontal SIC

Tubos de forno horizontais SICsão os portadores indispensáveis ​​do sistema de forno, comumente localizados na área de aquecimento central da fabricação de semicondutores ou equipamentos de produção fotovoltaica. Eles trabalham em conjunto com os elementos de aquecimento, os sistemas de controle de temperatura, os sistemas de controle de gás e os barcos wafer para formar o sistema completo do forno.

Na operação real, os tubos horizontais do forno SIC são aquecidos pelos elementos de aquecimento, que transferem uniformemente o calor para os tubos do forno com a ajuda da excelente condutividade térmica dos materiais de carboneto de silício. Enquanto isso, gases de processo específicos (como oxigênio, nitrogênio, gases dopantes, etc.) são introduzidos no tubo do forno. Sob o efeito desta atmosfera de gás de alta temperatura, os materiais semicondutores dentro do forno sofrerão reações químicas ou alterações físicas, conseguindo, em última análise, modificação do material, dopagem ou otimização estrutural.

Os tubos horizontais do forno SIC da Semicorex oferecem resistência mecânica e dureza notáveis, o que desempenha um papel significativo em aplicações que envolvem manuseio e processamento de wafers de grande volume. Os tubos horizontais do forno SIC são capazes de fornecer suporte estável para wafers em processos de tratamento térmico, como oxidação, difusão e recozimento, garantindo que os wafers estejam na posição correta durante o processamento em alta temperatura e evitando deslocamento ou deformação causados ​​por estresse térmico.

Os tubos horizontais do forno SIC da Semicorex são fabricados com materiais de alta purezacerâmica de carboneto de silíciocom teor de impurezas ultrabaixo, seguido pela deposição de um CVDrevestimento de carboneto de silícioem sua superfície. Este método de fabricação adiciona uma camada protetora aos tubos horizontais do forno SIC, o que lhes permite operar de forma estável em ambientes corrosivos e de alta temperatura ao longo do tempo. Este desempenho de resistência à corrosão dos tubos horizontais do forno SIC melhora a eficiência da fabricação de wafers semicondutores, reduzindo efetivamente o risco de danos aos componentes relacionados à corrosão e reduzindo a necessidade de substituições e manutenção frequentes.

Com tantas propriedades superiores, os tubos de forno horizontais SIC da Semicorex são amplamente utilizados em muitos processos de processamento de alta temperatura nas indústrias fotovoltaica e de semicondutores, como processo de oxidação, processo de difusão, processo de recozimento e deposição de vapor químico de baixa pressão.