Anéis de Foco SiC

Os anéis de foco SiC avançados e de alta pureza da Semicorex são construídos para suportar ambientes extremos em câmaras de gravação a plasma (ou gravação a seco). Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores epitaxiais. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Semicorex fornece SiC Focus Rings é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva. Os anéis de foco SiC ou anéis de borda são projetados para melhorar a uniformidade de gravação ao redor da borda ou perímetro do wafer. Minimize a contaminação e a manutenção não programada com componentes de alta pureza projetados para os rigores do processamento de gravação a plasma. Nossos anéis de foco de SiC com revestimento de SiC são um revestimento de carboneto de silício (SiC) denso e resistente ao desgaste. Possui altas propriedades de resistência à corrosão e ao calor, bem como excelente condutividade térmica. Aplicamos SiC em camadas finas sobre o grafite usando o processo de deposição química de vapor (CVD).

Parâmetros dos anéis de foco SiC

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Recursos dos anéis de foco SiC

- Revestimentos de carboneto de silício CVD para melhorar a vida útil.

- Isolamento térmico em carbono rígido purificado de alto desempenho.

- Aquecedor e placa composta de carbono/carbono. - Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Revestimento de grafite e SiC de alta pureza para resistência a furos e maior vida útil