Anéis de foco SiC

Os anéis de foco de SiC avançados e de alta pureza da Semicorex são construídos para suportar ambientes extremos em câmaras de gravação a plasma (ou gravação a seco). Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores de epitaxia. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Semicorex fornece SiC Focus Rings é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química severa. SiC Focus Rings ou anéis de borda são projetados para melhorar a uniformidade do ataque ao redor da borda ou perímetro do wafer. Minimize a contaminação e a manutenção não programada com componentes de alta pureza projetados para os rigores do processamento de corrosão por plasma. Nossos anéis de foco de SiC com revestimento de SiC são um revestimento de carboneto de silício (SiC) denso e resistente ao desgaste. Possui altas propriedades de resistência à corrosão e ao calor, bem como excelente condutividade térmica. Aplicamos SiC em camadas finas sobre o grafite usando o processo de deposição química de vapor (CVD).

Parâmetros dos anéis de foco SiC

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades do SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características dos anéis de foco SiC

- Revestimentos de carboneto de silício CVD para melhorar a vida útil.

- Isolamento térmico em carbono rígido purificado de alto desempenho.

- Aquecedor e placa composta de carbono/carbono.- Tanto o substrato de grafite como a camada de carboneto de silício têm uma alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Grafite de alta pureza e revestimento de SiC para resistência a furos e maior vida útil