Barcos de wafer de cerâmica SiC

A seleção de barcos de wafer confiáveis ​​e duráveis ​​é crucial para garantir a estabilidade do processo e o rendimento do wafer durante condições operacionais de alta temperatura e alta corrosão. SemicorexCerâmica SiCOs barcos wafer são a escolha ideal para essa finalidade, processando suas múltiplas vantagens, incluindo alta integração, alta estabilidade, resistência a altas temperaturas, resistência ao desgaste e longa vida útil.

Seleções de matérias-primas premium

O controle de qualidade da Semicorex sobreBarcos de wafer de cerâmica SiCcomeça com a rigorosa seleção de matérias-primas. Os barcos wafer de cerâmica Semicorex SiC são feitos de pó de carboneto de silício de nível semicondutor de alta pureza por meio de sinterização em alta temperatura. Graças à sua matéria-prima premium, eles oferecem o seguinte desempenho excepcional.

1. Pureza ultra-alta e baixa contaminação por impurezas metálicas.

2. Estrutura de material densa, reduzindo a contaminação do wafer causada pelo derramamento de partículas.

3. Excelente resistência à corrosão contra plasma, ácidos fortes e álcalis.

4. Alta dureza e resistência mecânica, resistente ao desgaste e a riscos.

5. Excelente estabilidade térmica, sem deformação ou fluência a 1250°C.

6. Excelente resistência ao choque térmico, reduzindo o estresse térmico causado por mudanças rápidas de temperatura.

Design personalizado e pensativo

Os barcos wafer de cerâmica Semicorex SiC combinam bem com muitos OEMs de fornos líderes do setor, como TEL, ASM e Kokusai Electric. A Semicorex oferece soluções de engenharia personalizada para nossos valiosos clientes, suportando a personalização das dimensões do barco wafer, passo da ranhura, profundidade da ranhura, perfil da ranhura (formato de V ou U) e ângulos correspondentes para permitir compatibilidade perfeita com seu equipamento e requisitos de processamento.

Precisão de usinagem de precisão

Apoiada em equipamentos de usinagem avançados e tecnologias de processamento maduras, a Semicorex é capaz de controlar rigorosamente as dimensões e tolerâncias de seus barcos de wafer de cerâmica SiC. Este controle dimensional de alta precisão garante que os wafers semicondutores estejam firmemente posicionados durante a operação, o que evita efetivamente danos aos wafers resultantes de deslizamento ou inclinação. Após a usinagem de precisão, as ranhuras uniformemente espaçadas dos barcos de wafer de cerâmica SiC podem garantir que cada wafer seja aquecido e reaja uniformemente durante os processos de oxidação, difusão e CVD, o que contribui muito para melhorar a consistência do processo e o rendimento do chip semicondutor.