Mandris de vácuo de cerâmica SiC

Microfuros projetados com precisão são distribuídos uniformemente pela superfície dos mandris de vácuo de cerâmica SiC, permitindo uma conexão confiável ao equipamento de vácuo externo. Durante a operação, a bomba de vácuo é ativada para aspirar ar através dos orifícios, criando um ambiente de pressão negativa entre o wafer semicondutor e o mandril de vácuo. Isto permite, portanto, que o wafer seja fixado de maneira uniforme e firme na superfície do mandril de vácuo.

As vantagens dos mandris a vácuo de cerâmica Semicorex SiC

1.Seleção de material premium

SemicorexMandris a vácuo de cerâmica SiCselecione cuidadosamente o carboneto de silício de alta pureza como matéria-prima. O controle rigoroso da Semicorex sobre a pureza do material evita efetivamente a contaminação do wafer causada por impurezas durante a operação, atendendo assim às crescentes demandas por limpeza e rendimento da produção.

2. Precisão de usinagem fina

A superfície dos mandris a vácuo de cerâmica Semicorex SiC passa por polimento espelhado e seu nivelamento é controlado em 0,3–0,5 μm. Esse controle extremo de planicidade pode permitir um efeito de contato ideal, o que reduz bastante o risco de arranhões no wafer causados ​​por superfícies de contato ásperas. Cada microfuro e ranhura nos mandris a vácuo são usinados com precisão, proporcionando assim um efeito de adsorção estável e uniforme durante a operação.

3. Serviços de personalização flexíveis

A Semicorex fornece aos nossos valiosos clientes serviços de personalização, oferecendo várias opções de tamanhos de mandris a vácuo de cerâmica SiC, como 6, 8, 12 polegadas. Podemos adaptar tolerâncias dimensionais, tamanho de poros, planicidade e rugosidade para atender às necessidades do cliente, garantindo uma combinação perfeita com seu equipamento de processamento e inspeção de semicondutores.

4.Excelente durabilidade e vida útil

SemicorexCerâmica SiCos mandris a vácuo são formados por prensagem isostática e depois sinterizados em alta temperatura. Após essa tecnologia de processos especiais, os mandris a vácuo de cerâmica Semicorex SiC possuem excelente desempenho, como leveza, alta rigidez, forte resistência ao desgaste e baixo coeficiente de expansão térmica. Essas propriedades permitem que os mandris a vácuo de cerâmica Semicorex SiC sejam constantemente operados em condições desafiadoras no manuseio e processamento de wafers semicondutores.