Pás cantilever de cerâmica SIC

As pás cantilever de cerâmica Semicorex SiC são componentes de alto desempenho projetados para fornos de processamento térmico usados em áreas como fabricação de semicondutores e células fotovoltaicas. A Semicorex seleciona cuidadosamente materiais de carboneto de silício de alta pureza e emprega processos de fabricação de precisão líderes do setor, aguardando sua compra com nossos produtos e serviços de alta qualidade.

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Descrição do produto

SemicorexPás cantilever de cerâmica SICsão componentes cruciais para mover transportadores de wafer para dentro e para fora dos fornos. Eles são amplamente utilizados em equipamentos de processamento térmico, como fornos de oxidação, difusão e LPCVD (deposição química de vapor de baixa pressão) na fabricação de fotovoltaicos e semicondutores.

Devido à excelente resistência mecânica, estabilidade térmica, resistência a altas temperaturas, resistência à oxidação, resistência ao choque térmico e resistência à corrosão química do carboneto de silício ligado por reação (RBSIC), é adequado para a fabricação de pás cantilever de carboneto de silício de grande porte.

SemicorexCerâmica SICas pás cantilever derivam sua alta capacidade de carga da resistência mecânica inerente e da rigidez do material de carboneto de silício ligado por reação (RBSiC) de alta qualidade. Capazes de sustentar a carga pesada de wafers de silício, essas pás otimizam o rendimento para ciclos de difusão individuais e auxiliam na melhoria da eficiência da produção.

As propriedades superiores do material do carboneto de silício ligado por reação permitem que as pás cantilever de cerâmica SIC tenham excelente estabilidade em ambientes operacionais de alta temperatura, garantindo a concentricidade da pastilha de silício e do tubo do forno, tornando processos como difusão e passivação mais uniformes. Essa estabilidade evita efetivamente deformações ou danos à pá cantilever de carboneto de silício causados por alta temperatura e carga pesada, reduzindo o risco de danos resultantes ao wafer de silício ou falha do equipamento.

As pás cantilever de cerâmica Semicorex SiC empregam o processo de impressão 3D de peça única, que é fundamental para manter a precisão dimensional e a consistência da forma dos componentes. Este design de pás cantilever de cerâmica SiC também garante compatibilidade perfeita com sistemas de forno de difusão. Sua robusta estrutura cantilever permite transferências suaves e sem vibrações, minimizando a chance de quebra ou desvio do wafer durante o carregamento e descarregamento.

A qualidade é uma prioridade máxima para a Semicorex. Todas as pás cantilever de carboneto de silício acabadas são obrigadas a passar por vários procedimentos de testes, incluindo verificações de precisão dimensional e avaliações de propriedades de materiais, para garantir sua qualidade superior. Se você tiver alguma necessidade de compra, não hesite em nos contatar.