Pá cantilever de cerâmica SiC

Grande força de carregamento de bolacha de carboneto de silício SiC cantilever de cerâmica é adequado para um sistema de carregamento e manuseio automático de robôs porque tem desempenho estável, não deformação em alta temperatura e grande força de carga de bolacha. A Semicorex está empenhada em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos, estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Uma vez que a seção da pá cantilever é estável sem deformação, é possível fazer um wafer de tamanho maior usando tubos de forno existentes. A pá cantilever de cerâmica SiC pode ser aplicada ao LPCVD com base em seu coeficiente de expansão térmica semelhante ao revestimento LPCVD, o que prolonga muito o ciclo de manutenção e limpeza e reduz significativamente os poluentes.

Podemos produzir o produto de acordo com seus desenhos e o ambiente de trabalho.

Características:

Grande carga

Baixa condutividade térmica

Resistência a altas temperaturas