Barcos de cerâmica sic

Os barcos de cerâmica semicorex sic são operadoras de última geração especialmente projetadas para transportar, armazenar e processar com segurança as bolachas de semicondutores nos ambientes mais exigentes quimicamente e termicamente extremos. A indústria de semicondutores adotou rapidamente novos padrões de desempenho que exigiram que os barcos de cerâmica da SiC atendessem de maneira confiável, confiante e sem contaminação atingissem as demandas intolerantes e críticas pelos modernos processos de fabricação de wafer.

Forte estabilidade térmica e força

O atributo definidor dos barcos de cerâmica SiC é sua estabilidade térmica muito alta. Os barcos cerâmicos do SiC podem suportar a temperatura superior a 1600 ° C sem perder sua forma ou estrutura durante os processos agressivos de ciclagem térmica. Devido ao coeficiente de expansão térmica ultra-baixo, os barcos de cerâmica SiC são menos propensos a distorções e rachaduras, permitindo tolerâncias rígidas e segurança geral da wafer durante o manuseio em condições duras.

Alta pureza e resistência química

Os barcos cerâmicos da SIC são fabricados a partir de carboneto de silício de pureza ultra-alta. Os barcos cerâmicos da SIC também são altamente resistentes à degradação química, corrosiva e plasma. A natureza inerte dos barcos cerâmicos da SiC significa processos de gases corrosivos, ambientes reativos, condições ácidas não formariam contaminação do barco ou nada solúvel para prejudicar o processo de trabalho. A superfície não contaminante dos barcos de cerâmica SiC permite que nenhuma geração de partículas ou lixiviação de íons, portanto, uma superfície de wafer não seja comprometida por impurezas que impedem o desempenho ou o rendimento do dispositivo.

Engenharia de precisão para manuseio de bolacha segura e segura

Os barcos de cerâmica do SiC são fabricados em tolerâncias rígidas, permitindo que lidam com as bolachas de vários diâmetros, incluindo 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm e muito mais. O projeto estrutural de barcos SiC fornece excelente planicidade, paralelismo e tamanho uniforme do slot para manter a orientação adequada da bolacha e proteger as bordas da bolacha ao transferir para outro processo ou ferramenta. Todos os barcos SIC podem ser projetados com dimensões personalizadas para corresponder ao conjunto de ferramentas ou atender a quaisquer especificações de automação.

Longa vida útil e mais econômica

O SIC substitui os materiais tradicionais (quartzo, alumina) por resistência mecânica significativamente melhorada, tenacidade à fratura e resistência ao choque térmico. Esse nível de durabilidade se traduz em uma vida útil mais longa antes da "falha", significativamente menos substituições durante a operação e menor custo total de propriedade. A consistência no desempenho da durabilidade do SIC reduzirá os tempos de baixa e acelerará a taxa de transferência nas linhas de fabricação de semicondutores.

Abra aplicações em processos semicondutores

Os barcos de cerâmica sic são amplamente utilizados em processos de semicondutores front-end, como:

LPCVD e PECVD depoimento

Oxidação térmica

Implante de íons

Recozimento e difusão

Limpeza de bolas e processamento químico

As alças de cerâmica SiC possuem aplicações de processamento compatíveis nas câmaras de processo de atmosfera e vácuo, tornando -a uma escolha ideal para fundições e fabulos que procuram minimizar e reduzir o risco de contaminação e aumentar a produtividade.