Sic cantilever remos

As pás de cantilever semicorex SiC são componentes de alto desempenho projetados com precisão para manuseio de bolas e transporte de bolacha em equipamentos de processamento térmico semicondutores (LPCVD, PECVD, oxidação e fornos de difusão). Essas pás do cantilever fornecem uma plataforma para as bolachas e uma forma necessária de suporte, que garante transporte estável e confiável de bolachas quebradiças através de processos severos de alta temperatura (geralmente excedendo 1200 ° C). As pás do cantilever são fabricadas a partir de carboneto de silício de alta pureza (SIC), que fornece durabilidade mecânica, estabilidade térmica e propriedades anticorrosivas para o ambiente de fabricação de semicondutores.

O carboneto de silício é um material de cerâmica super premium com excelente condutividade térmica, baixa expansão térmica e a capacidade de executar de maneira confiável em ambientes quimicamente hostis. O carboneto de silício em pás de cantilever pode ajudar a reduzir a deformação térmica

 e movimento que mantém as bolachas planas e em sua posição de processamento nominal. A estabilidade térmica da bolacha no contexto das pás do cantilever é importante para minimizar questões de contaminação por partículas e movimento mecânico, especialmente ao produzir dispositivos de nós avançados. Esses problemas podem resultar em perda de rendimento ou retrabalho dispendioso e substituição de bolachas.

A forma monolítica dos remos do cantilever SiC melhora a robustez mecânica e a uniformidade térmica enquanto eliminam as articulações e pontos fracos que normalmente podem existir em compósitos. Além disso, o acabamento da superfície das pás é controlado especificamente e geralmente polido para uma qualidade de espelho próximo para minimizar a geração de partículas e é compatível com a classe muito limpa.

Nos processos de difusão e oxidação que envolvem oxigênio, vapor e outros gases reativos; Os materiais convencionais podem colar ou se deformar com o tempo. A propriedade inerte química inerente da SIC garante que as pás não superem, nem corroerão e introduzirão contaminação ao processo devido ao uso de materiais instáveis, contribuindo para um processo mais estável e resultados confiáveis.  A integridade estrutural das remos do cantilever SiC permanece estável, apesar do ciclo rápido de aquecimento e resfriamento. Portanto, eles oferecem vida útil operacional longa com manutenção bastante reduzida ou tempo de inatividade de substituição de peças.

Além disso, a massa reduzida e o peso leve das pás do SiC permitem uma resposta térmica mais rápida; Permitindo assim os tempos de aceleração térmica e resfriamento mais rápidos, contribuindo para aumentar a produtividade e a eficiência energética, todas as principais métricas no cenário competitivo da fabricação de semicondutores.

As pás do SiC Cantilever podem ser fornecidas em uma variedade de configurações e tamanhos, projetados e fabricados para acomodar vários projetos de forno e tamanhos de wafer que variam de 100 mm a 300 mm ou maiores. OEMs e integradores de equipamentos apreciam a consistência e a confiabilidade dos remos do SIC ao longo do tempo, para implantações nos processos front-end e back-end.

O Semicorex oferece remos premium de cantilever sic com controle rígido sobre pureza do material, microestrutura e tolerâncias dimensionais. Nossos recursos avançados de processo, juntamente com o nosso conhecimento da dinâmica térmica de semicondutores, nos permitem produzir remos com esses atributos que atendem ou excedem os padrões da indústria para estabilidade, limpeza e durabilidade. Quando precisa estar certo e confiável, o Semicorex é o local para procurar componentes de qualidade SIC.