Barco SiC

Os barcos SiC Semicorex são meticulosamente fabricados em cerâmica SiC de alta pureza, um material famoso por sua estabilidade térmica incomparável, resistência mecânica excepcional e inércia química inabalável. Essas qualidades fazem dele a escolha perfeita para as rigorosas condições de fabricação de semicondutores.

Os barcos SiC apresentam resistência mecânica e durabilidade incomparáveis, devido à dureza do material e excepcional resistência ao desgaste. Isso lhes permite suportar a natureza exigente dos ambientes de produção de semicondutores de alto rendimento sem sucumbir ao desgaste gradual. Ao contrário de outros materiais, o SiC mantém a sua integridade estrutural ao longo do tempo, reduzindo significativamente a necessidade de substituições frequentes e minimizando o tempo de inatividade nas operações de fabrico – conduzindo, em última análise, a poupanças substanciais de custos para os fabricantes de semicondutores.

A inércia química do SiC solidifica ainda mais sua adequação para processos de semicondutores, tornando-o altamente resistente ao ataque químico de gases reativos e materiais comumente usados, como cloro e flúor. Esta resistência robusta garante que os barcos de SiC não contaminem os wafers durante o processamento, mantendo assim a pureza e a qualidade dos dispositivos semicondutores que estão sendo fabricados. Para processos que exigem um nível ainda mais alto de resistência química, os barcos de SiC podem ser revestidos com uma camada adicional de SiC, fornecendo uma barreira extra contra ataques químicos e elevando o acabamento superficial do barco para diminuir o risco de contaminação por partículas.

A alta pureza da cerâmica SiC usada nesses barcos é crítica, pois a fabricação de semicondutores exige materiais com o mínimo de impurezas. Mesmo pequenas quantidades de contaminantes podem prejudicar as propriedades elétricas dos wafers e resultar em defeitos nos dispositivos finais. Os barcos de SiC são projetados com cerâmica de SiC de altíssima pureza para garantir que não introduzam impurezas no ambiente do processo, mesmo em temperaturas elevadas e condições reativas típicas da fabricação de semicondutores. Essa pureza solidifica a confiabilidade dos SiC Boats para etapas críticas do processo.

A compatibilidade dos SiC Boats com vários equipamentos semicondutores é fundamental. A versatilidade do SiC permite que ele seja usinado com precisão para se adequar às dimensões e configurações específicas exigidas por diferentes tipos de fornos e reatores semicondutores, tornando-os adequados para uma ampla gama de aplicações, desde operações de pesquisa e desenvolvimento em pequena escala até linhas de produção em grande escala. Além disso, as excepcionais propriedades de condutividade térmica e dissipação de calor do material contribuem para um controle de temperatura mais eficiente durante o processamento, melhorando ainda mais o desempenho e o rendimento dos dispositivos semicondutores.