Sic Boat titis

Os detentores de barcos semicorex sic são dispositivos de suporte de precisão projetados para reter barcos de bolacha durante processos de alta temperatura na fabricação de semicondutores. Feitas de carboneto de silício de alta pureza (SIC), esses detentores exibem excelente estabilidade térmica, resistência química e rigidez mecânica, características essenciais quando usadas em processos como difusão, oxidação e crescimento epitaxial.

Ao exigir ambientes de fabricação de semicondutores, é crucial proteger a integridade da wafer e minimizar a contaminação. Os detentores de barcos da SIC oferecem uma plataforma sólida e inerte que pode tolerar ambientes de forno extremo, mantendo a integridade sem deformação e sem a liberação de contaminantes. Sua inércia química permite seu uso com gases de processo reativos, enquanto sua transmitância térmica promove o aquecimento uniforme da superfície das bolachas para processamento consistente.

Cada suporte para barcos SIC é fabricado com uma alta tolerância à precisão dimensional, facilitando a acomodação e a adaptação a qualquer tipo de barco de wafer e configurações de carga automatizadas. Sua estrutura rígida não apenas cria suporte forte, estável e adequado para os barcos de wafer, mas também reduz as micro-vibrações ou mudanças posicionais que podem ter nas bolachas. Além disso, o carboneto de silício tem excelente resistência ao desgaste e pode lidar com o ciclo de calor repetido para fornecer uma vida útil longa, resultando em pouco tempo de inatividade e substituição de peças de frasco.

Os atributos exclusivos do carboneto de silício podem fornecer benefícios adicionais em relação à limpeza do processo. Ao contrário de metais ou materiais cerâmicos de menor grau, o SiC não flaca, outgas ou se degradam quimicamente sob temperaturas extremas ou no plasma. Isso faz com que os detentores de barcos do SIC uma ótima ferramenta para os fabricantes que tentam limitar a contaminação da sala limpa para nós avançados de semicondutores que requerem alto rendimento e pureza.

Os portadores de barcos semicorex sic são produzidos usando processos exclusivos de moldagem e sinterização que garantem microestrutura uniforme e desempenho mecânico entre lotes e vários detentores de barcos. Por exemplo, a forma do suporte ou a configuração do slot pode ser personalizada, bem como o tipo de montagem.

Seja usado em fornos verticais ou reatores horizontais, os suportes de barcos semicorex sic de semicorex atenderão às tolerâncias para a fabricação de semicondutores de próxima geração. Se você escolher produtos semicorex, saberá que trabalhou com um fornecedor com conhecimento, dedicado à excelência material e se esforça para inovar continuamente componentes de cerâmica com relação à confiabilidade e entrega.